小寺 正敏

J-GLOBALへ         更新日: 17/02/23 14:26
 
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研究者氏名
小寺 正敏
 
コテラ マサトシ
URL
http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/index.html
所属
大阪工業大学
部署
工学部 電子情報通信工学科
職名
教授
学位
工学博士(大阪府立大学), 工学修士

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1982年
大阪府立大学 工学研究科 電子工学
 
 
 - 
1977年
大阪府立大学 工学部 電子工学
 

委員歴

 
2011年9月
 - 
現在
荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会  幹事
 
2008年2月
 - 
現在
荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会  学界委員
 
1998年
 - 
2002年
応用物理学会  関西支部評議員
 
 
   
 
International Microprocesses and Nanotechnology Conference  論文委員
 

Misc

 
静電型走査電子顕微鏡の製作
大阪工業摂南大学中研所報   26(2) 61-87   1993年
田村 圭司, 小寺 正敏
真空   40(3) 173-176   1997年
藤田 篤広, 小寺 正敏, 菅 博
真空   40(3) 190-192   1997年
空気中試料分析装置へのOligo散乱ビームの応用
電子情報通信学会論文誌C-II   J80(C-II) 196   1997年
小寺正敏
電子顕微鏡   33(3) 166-172   1998年

書籍等出版物

 
各種分析法におけるサンプリング・試料調製法と前処理技術
技術情報協会   1993年   

Works

 
EB直描マスクシミュレーション技術の開発
1998年 - 2000年
EB投影露光シミュレーション技術
2000年 - 2003年
等倍EB近接露光シミュレーション技術
2002年
電子ビームリソグラフィシミュレーションの開発
2003年 - 2004年
低加速電子ビーム露光の大電流化技術
2003年 - 2004年

競争的資金等の研究課題

 
電子ビームリソグラフィにおける帯電の影響低減のための帯電現象のマルチスケール解析
日本学術振興会: 科学研究費: 
研究期間: 2016年4月 - 2019年3月    代表者: 小寺 正敏
電子ビーム照射による試料帯電の広範囲ナノメートル分解能・リアルタイム計測技術開発
日本学術振興会: 科学研究費
研究期間: 2010年4月 - 2013年3月    代表者: 小寺 正敏
静電型走査電子顕微鏡の製作
科学研究費
研究期間: 1991年4月 - 1994年3月    代表者: 小寺 正敏
走査電子顕微鏡像の理論解析
研究期間: 1984年   
電子ビームリソグラフィシステムの解析
研究期間: 1998年