佐野泰久 (Yasuhisa Sano) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学大学院工学研究科物理学系専攻准教授

学位: 修士(工学)(大阪大学)
博士（工学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901047281295610
researchmap会員ID: 1000163091

研究キーワード

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

経歴

2007年

- 大阪大学・准教授
2003年

- 大阪大学・助教授

学歴

受賞

2018年6月

ベストポスタープレゼンテーション賞, 2018年度精密工学会関西地方定期学術講演会

南映希, 伊藤亮太, 細尾幸平, 佐野泰久, 川合健太郎, 有馬健太
2017年9月

ベストポスタープレゼンテーション賞, 2017年度精密工学会秋季大会

伊藤亮太, 細尾幸平, 南映希, 佐野泰久, 川合健太郎, 有馬健太
2016年1月

安田賞, 応用物理学会第21回電子デバイス界面テクノロジー研究会

中出和希, 森大地, 川瀬達也, 川合健太郎, 佐野泰久, 山内和人, 森田瑞穂, 有馬健太
2013年11月

日本表面科学会会誌賞, 公益社団法人日本表面科学会

山内和人, 佐野泰久, 有馬健太
2009年11月

JSPE Prize Best Paper Award, 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (Japan Society for Precision Engineering)

Shun Sadakuni, Junji Murata, Keita Yagi, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi
2009年

JSPE Prize Best Paper Award
2006年11月

Best Paper Award 2006, The 8th International Conference on Progress of Machining Technology

Kazuya Yamamura, Kunihito Kato, Yasuhisa Sano, Masafumi Shibahara, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori
2006年2月

第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム学生会員発表賞, 日本放射光学会

松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 原英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
2006年

Best Paper Award 2006
2005年11月

奨励研究賞, 応用物理学会、SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 山内和人
2003年6月

工作機械技術振興賞（論文賞）, （財）工作機械技術振興財団

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久
2003年3月

精密工学会賞, (社)精密工学会

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久
2003年

精密工学会賞
2003年

工作機械技術振興賞（論文賞）
2002年6月

工作機械技術振興賞(論文賞), (財)工作機械技術振興財団

森勇蔵, 山村和也, 佐野泰久
2002年

工作機械技術振興財団工作機械技術振興賞
2001年3月

精密工学会賞, 精密工学会

山内和人, 杉山和久, 稲垣耕司, 山村和也, 佐野泰久, 森勇藏
2001年

工作機械技術振興財団工作機械技術振興賞
2000年6月

工作機械技術振興賞(論文賞), (財)工作機械技術振興財団

森勇蔵, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久

論文

269

Ultra-precision smooth surface on polymer material prepared by catalyst-referred etching

D. Toh, K. Takeda, K. Kayao, Y. Ohkubo, K. Yamauchi, Y. Sano

International Journal of Automation Technology 18(2) 240-247 2024年3月5日査読有り招待有り
High-pressure plasma etching up to 9 atm toward uniform processing inside narrow grooves of high-precision X-ray crystal optics

Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Masafumi Miyake, Taito Osaka, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Makina YABASHI, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Applied Physics Express 2023年12月2日
Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching

Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology 47 1-6 2023年12月査読有り最終著者
Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water

Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Pho Van Bui, Kouji Inagaki, Yoshitada Morikawa, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Precision Engineering 84 21-27 2023年11月査読有り最終著者
Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution

D. Toh, K. Kayao, R. Ohnishi, A. I. Osaka, K. Yamauchi, Y. Sano

AIP Advances 13(9) 2023年9月1日査読有り最終著者
Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride

Kiyoto Kayao, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

ECS Journal of Solid State Science and Technology 12(6) 063005-063005 2023年6月1日査読有り
High-Speed Plasma Etching of Gallium Oxide Substrates Using Atmospheric-Pressure Plasma with Hydrogen-Helium Mixed Gas

Yasuhisa Sano, Taiki Sai, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi

Solid State Phenomena 342 69-72 2023年5月25日査読有り筆頭著者
High-speed etching of gallium nitride substrate using hydrogen-contained atmospheric-pressure plasma

Yasuhisa Sano, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Kazuto Yamauchi

Applied Physics Express 16(4) 045504-045504 2023年4月1日査読有り筆頭著者
Hard x-ray intensity autocorrelation using direct two-photon absorption

Taito Osaka, Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Yuichi Inubushi, Shotaro Matsumura, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Kazuto Yamauchi, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi

Physical Review Research 4(1) 2022年3月
High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system

Yasuhisa Sano, Ken Nishida, Ryohei Asada, Shinya Okayama, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

Review of Scientific Instruments 92(12) 125107-125107 2021年12月1日査読有り筆頭著者
Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system

Takato Inoue, Yuka Nishioka, Satoshi Matsuyama, Junki Sonoyama, Kazuteru Akiyama, Hiroki Nakamori, Yoshio Ichii, Yasuhisa Sano, Xianbo Shi, Deming Shu …

Review of Scientific Instruments 92(12) 123706-123706 2021年12月1日
触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製

藤大雪, Bui Van Pho, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 115-116 2021年9月8日
X-ray adaptive zoom condenser utilizing an intermediate virtual focus

Satoshi Matsuyama, Hiroyuki Yamaguchi, Takato Inoue, Yuka Nishioka, Jumpei Yamada, Yasuhisa Sano, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi

Optics Express 29(10) 15604-15604 2021年5月10日査読有り
Photoelectrochemical Oxidation Assisted Catalyst-Referred Etching for SiC (0001) Surface

Daisetsu Toh, Pho Van Bui, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

International Journal of Automation Technology 15(1) 74-79 2021年1月5日査読有り
High-speed etching of silicon carbide wafer using high-pressure SF6 plasma

Yasuhisa Sano, Koki Tajiri, Yuki Inoue, Risa Mukai, Yuma Nakanishi, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

ECS Journal of Solid State Science and Technology 10(1) 2021年1月査読有り筆頭著者
High-Speed Plasma Etching of SiC Wafer Toward Backside Thinning

Yasuhisa Sano

ECS Transactions 104(7) 85-92 2021年査読有り筆頭著者
High-resolution micro channel-cut crystal monochromator processed by plasma chemical vaporization machining for a reflection self-seeded X-ray free-electron laser

Shotaro Matsumura, Taito Osaka, Ichiro Inoue, Satoshi Matsuyama, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Optics Express 28(18) 25706-25715 2020年8月31日査読有り最終著者
触媒表面基準エッチング法で平滑化したMgO基板上に成長させたFe₃O₄極薄膜における金属/絶縁体相転移特性の向上

大坂藍, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久, 田中秀和, 服部梓

精密工学会学術講演会講演論文集 2020A 187-188 2020年8月20日
An abrasive-free chemical polishing method assisted by nickel catalyst generated by in situ electrochemical plating

D. Toh, P. V. Bui, A. Isohashi, S. Matsuyama, K. Yamauchi, Y. Sano

Review of Scientific Instruments 91(4) 045108 2020年4月査読有り
触媒表面基準エッチング法で平滑化したMgO基板上での高品質Fe₃O₄極薄膜成長

大坂藍, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久, 田中秀和, 服部梓

精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 662-663 2020年3月1日

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MISC

624

大気圧プラズマによる表面処理を利用した常温接合技術の開発

櫛川新太, 西岡柚香, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム基板の高能率エッチング

中上元太, 崔泰樹, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
紫外光照射を援用した触媒表面基準エッチング法を用いた窒化ガリウム基板の高能率平滑化

萱尾澄人, 藤大雪, 山田純平, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
触媒表面基準エッチング法を用いた高分子材料表面の高精度平坦化手法-ポリカーボネートの加工特性評価-

竹田広大, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
SF₆ガスを用いたサブ大気圧プラズマによるSiC-MOSFETの裏面薄化におけるデバイス性能への影響の調査

大島政明, 中西悠真, 藤大雪, 松山智至, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
触媒表面基準エッチング法におけるシリコンの除去機構の解明

板垣果歩, 萩原拓, 萱尾清人, VAN PHO Bui, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶表面の作製

藤大雪, VAN BUI Pho, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
完全結晶基板上に成長したFe₃O₄極薄膜金属-絶縁体相転移特性

大坂藍, 服部梓, 田中秀和, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web) 2020 2020年
A micro channel-cut crystal X-ray monochromator for a self-seeded hard X-ray free-electron laser

T. Osaka, I. Inoue, R. Kinjo, T. Hirano, Y. Morioka, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Yabashi

Journal of Synchrotron Radiation 26(5) 1496-1502 2019年9月査読有り
触媒表面を基準面とする化学研磨法の開発 (特集 SiC研磨技術の現状と新加工法)

佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 61(8) 426-429 2017年8月
触媒表面基準エッチング法における水素水を用いた被毒除去法の提案

中平雄太, 礒橋藍, PHO Bui Van, 稻田辰昭, 藤大雪, 木田英香, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017 2017年
光電気化学酸化を利用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化

木田英香, 藤大雪, 中平雄太, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017 2017年
ニッケル触媒を利用した純水ベースの触媒表面基準エッチング法の開発

藤大雪, 礒橋藍, 稻田辰昭, 中平雄太, 木田英香, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2017 2017年
Pit Formation, Patterning and Flattening of Ge Surfaces in O2-Containing Water by Metal-Assisted Chemical Etching

Tatsuya Kawase, Atsushi Mura, Yusuke Saito, Takeshi Okamoto, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Kazuto Yamauchi, Mizuho Morita, Kenta Arima

ECS Transactions 75(1) 107-112 2016年9月査読有り
形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系を用いた任意サイズ硬X線集光ビームの形成

後藤拓実, 中森紘基, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, KHAKUREL Krishna Prasad, 佐野泰久, 香村芳樹, 西野吉則, 石川哲也 …

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 29th 52 2016年1月9日
触媒表面基準エッチング法における被毒物除去による加工速度安定化手法の開発

中平雄太, 礒橋藍, VAN Pho Bui, 稻田辰昭, 藤大雪, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2016 2016年
大気圧プラズマを用いた超精密加工

佐野泰久

機械の研究 67(10) 832-838 2015年10月
WeC-2-5 HIGH-EFFICIENCY PLANARIZATION METHOD FOR HARD-TO-MACHINE SEMICONDUCTOR SUBSTRATES COMBINING MECHANICAL POLISHING AND ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA ETCHING

Sano Yasuhisa, Shiozawa Kousuke, Doi Toshiro, Kurokawa Syuhei, Aida Hideo, Miyashita Tadakazu, Yamauchi Kazuto

Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE 2015 "WeC-2-5-1"-"WeC-2-5-3" 2015年6月14日
硬X線集光用形状可変ミラーによる二段KBミラー集光光学系の開発

後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, Khakurel Krishna, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 西野吉則, 山内和人

アブストラクト集 2015 1047-1048 2015年3月
形状可変ミラーを用いた二段Kirkpatrick-Baezミラー集光光学系による硬X線集光ビームの形成

後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 木村隆志, Khakurel Krishna, 佐野泰久, 香村芳樹, 西野吉則, 石川哲也, 山内和人

精密工学会学術講演会講演論文集 2015 703-704 2015年