谷口 淳

J-GLOBALへ         更新日: 12/07/28 02:47
 
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研究者氏名
谷口 淳
 
タニグチ ジユン
所属
東京理科大学
部署
基礎工学部 電子応用工学科 東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科
職名
講師
学位
修士(工学)(東京理科大学), 博士(工学)(東京理科大学)

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1999年
東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
 
 
 - 
1994年
東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科
 

委員歴

 
2002年
 - 
2003年
社団法人 精密工学会  分科会委員(ナノ製造科学-次世代システムLSI製造装置分科会)
 
2004年
 - 
2005年
社団法人 応用物理学会  論文委員会員(MNC 2004(第17回マイクロプロセス ナノテクノロジー国際会議))
 
 
   
 
砥粒加工学会  砥粒加工学会編集委員
 
2005年
 - 
2006年
Micro Nano Conference(応用物理学会系)  論文委員
 
2006年
 - 
2007年
特許庁 平成18年度 特許出願技術動向調査 -ナノインプリント技術及び樹脂加工におけるサブミクロン成形加工技術ー 委員会  学会の顧問・助言委員等
 

受賞

 
2001年
安藤博記念学術奨励賞
 
2004年
(財)東電記念科学技術研究所 研究助成
 
2007年
Second International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞
 
2009年
The 4th International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞
 

Misc

 
QUANTUM MOLECULAR DYNAMICS STUDY ON ENERGY TRANSFER TO THE SECONDARY ELECTRON IN SURFACE COLLISION PROCESS OF AN ION
Masahiko Shibahara, Shin-ichi Satake, Jun Taniguchi
Proceedings of HT2007 2007 ASME-JSME Thermal Engineering Summer Heat Transfer Conference   (HT2007-32144)    2007年
光ナノインプリント用光硬化性樹脂とその特性評価法
平澤 玉乃,谷口 淳,太田口 誠,坂井 信支
電気学会論文誌C   127(2) 174-178   2007年
Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Yoshiaki Ishii
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   25(6) 2361-2364   2007年
Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwamu Ashida, Sadao Momota, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto and Hitoshi Ofune
NANOTECHNOLOGY   18(27) 375302-1-375302-8   2007年
ナノインプリント技術の現状と可能性 その桁違いのポテンシャルで 三次元への応用に挑む
谷口 淳
Semiconductor FPD World   26(8) 44-47   2007年

書籍等出版物

 
SOGレジストの電子ビーム露光特性
光アライアンス   2006年   
画像ラボ 2007年2月号 ーナノインプリント技術のホログラムへの応用ー
日本工業出版   2007年   
ロールtoロール技術の最新動向 -プロセス最適化への課題と解決策- 第3章2節 UVナノインプリントにおけるモールド作製と離型性
シーエムシー出版   2011年   ISBN:978-4-7813-0321-5
ナノインプリント技術の現状
砥粒加工学会誌 Vol.46, No.6, 2002, JUN   2002年   
圧力印加による新半導体リソグラフィー技術
圧力技術 Vol.40, No.3,   2002年   

講演・口頭発表等

 
サブミクロン高アスペクト構造の作製
2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会   2007年   
ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成
2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会   2007年   
ネガ型電子ビームレジストを用いたグラッシーカーボン上への微細構造物の作製
2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会   2007年   
三次元ナノインプリント技術に関する研究
2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会   2007年   
無機EBレジストを用いた微細パターンの作製とNILモールドへの応用
2007年度精密工学会 秋季大会学術講演会   2007年   

競争的資金等の研究課題

 
三次元ナノインプリント技術に関する研究
研究期間: 2000年 - 2007年
三次元ナノモールドの作製と,パターン転写.