塚本 敬一

J-GLOBALへ         更新日: 09/04/15 00:00
 
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研究者氏名
塚本 敬一
 
ツカモト ケイイチ
所属
九州大学
部署
大学院システム情報科学府
職名
学術研究員
学位
博士(工学)(九州大学)

研究キーワード

 
 

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1999年
九州大学 工学研究科 電子工学専攻
 
 
 - 
1991年
九州大学 工学部 電子工学科
 

Misc

 
Electrical Passivation of B-doped Si through Thin Films Used in VLSI Fabrication
Thin Solid Films   286, pp299    1996年
Electrical Characteristics Variation of p-MOS Devices Exposed to Plasma-Excited H Radicals
Memoirs of the Faculty of Engineering, Kyushu University   55(3), 349    1996年
プラズマ励起水素ラジカルによるMOSデバイスの電気特性変化
九州大学工学集報   67(3),203    1994年

競争的資金等の研究課題

 
水素プラズマの集積回路プロセス時に与える影響
その他の研究制度
研究期間: 1993年 - 1999年
水素プラズマによるアクセプタ不活性化のデバイス特性への影響
高感度匂いセンサシステムの開発
JST戦略的創造研究推進制度(研究チーム型) (戦略的基礎研究推進事業:CREST)
研究期間: 2009年   
高感度匂いセンサおよびそのシステムの改良