堀邊 英夫

J-GLOBALへ         更新日: 16/04/02 09:46
 
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研究者氏名
堀邊 英夫
 
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eメール
hhoribea-chem.eng.osaka-cu.ac.jp
URL
http://www.a-chem.eng.osaka-cu.ac.jp/polymer/
所属
大阪市立大学
部署
大学院工学研究科 化学生物系専攻(化学バイオ工学)
職名
教授
学位
博士(工学)(大阪大学)
その他の所属
大阪市立大学 新産業創生研究センター

研究分野

 
 

経歴

 
1985年
 - 
2003年
三菱電機(株)先端技術総合研究所 研究員/主任研究員/主席研究員
 
2003年
 - 
2007年
高知工業高等専門学校 物質工学科 助教授
 
2007年
 - 
2013年
金沢工業大学  バイオ・化学部 応用化学科  教授
 
2013年
 - 
現在
大阪市立大学 大学院工学研究科 化学生物系専攻 教授
 
2014年
 - 
現在
大阪市立大学 産学官連携推進本部 新産業創生研究センター  所長
 
2007年
 - 
現在
大阪大学 招聘教授(兼任)
 
2015年
 - 
2016年
東北大学 客員教授(兼任)
 
2016年
 - 
現在
兵庫県立大学 客員教授(兼任)
 

学歴

 
1981年
 - 
1985年
京都大学 工学部 合成化学科
 

委員歴

 
2008年
 - 
現在
Cat-CVD研究会  委員
 
2009年
 - 
2011年
三菱電機 先端技術総合研究所 プラスチックリサイクル外部評価委員会 委員長
 
2010年
 - 
現在
日本放射線化学会 理事
 
2010年
 - 
現在
電気学会 論文委員
 
2010年
 - 
2012年
応用物理学会 北陸・信越支部 役員
 
2012年
 - 
2016年
応用物理学会代議員
 
2012年
 - 
現在
HWCVD  International Advisory Committee
 
2013年
 - 
現在
EM-NANO  Organizing Committee
 

受賞

 
1995年5月
第46回化学技術賞
 
2007年3月
第14回平賀源内大賞
 
2013年3月
第11回プラズマエレクトロニクス賞
 

Misc

 
溶媒キャスト法により単一溶媒から作製したPVDFの結晶構造と物性との相関
佐々木保飛、大城浩徳、高橋聖司、河野昭彦、西山 聖、會澤康治、堀邊英夫
高分子論文集 (Kobunshi Ronbunshu)   70(9) 489-495   2013年6月
湿潤オゾンを用いたレジスト除去反応の活性化エネルギー評価
後藤洋介、船坂知宏、山本雅史、小池国彦、堀邊英夫
高分子論文集   70(6) 295-299   2013年6月
中野創, 清水克哉, 越森優人, 野村洋司, 高橋聖司, 扇澤敏明, 堀邊英夫
高分子学会予稿集(CD-ROM)   62(1) ROMBUNNO.2F25   2013年5月
山登正文, 大林周平, 堀邊英夫, 高橋弘紀, 渡辺和雄
高分子学会予稿集(CD-ROM)   62(1) ROMBUNNO.1PF072   2013年5月
後藤洋介, 今亜耶乃, 高橋聖司, 堀邊英夫
高分子学会予稿集(CD-ROM)   62(1) ROMBUNNO.2F06   2013年5月

書籍等出版物

 
レジストエッチング-水素ラジカルによるレジスト除去-
シーエムシー出版(触媒CVD(Cat-CVD)の新展開)   2008年10月   
マスク枚数削減のための新規プロセス-ハーフトーンマスク用多層レジスト技術-
情報機構   2008年5月   
新規なレジスト剥離技術
情報機構   2008年5月   
導電性材料ノウハウ集-配合/設計/評価のポイント-
情報機構発行   2007年8月   
半導体・液晶ディスプレイ フォトリソグラフィ技術ハンドブック術
リアライズAT発行   2006年1月   
光硬化材料の開発と応用技術
技術情報協会   2000年3月   

講演・口頭発表等

 
Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構I
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去における反応メカニズムの解明(II)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
イオン注入レジストの構造解析(2)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像温度とリソグラフィ特性との関係
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構I
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去における反応メカニズムの解明(II)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
イオン注入レジストの構造解析(2)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像温度とリソグラフィ特性との関係
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構I
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去における反応メカニズムの解明(II)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
イオン注入レジストの構造解析(2)
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像温度とリソグラフィ特性との関係
第59回応用物理学関係連合講演会   2012年   
加熱触媒体により生成した原子状水素によるレジスト材料の分解反応の律速因子の解明
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
湿潤オゾンによるポリマー除去の反応メカニズムの解明
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性の現像温度依存性
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去に及ぼす基板温度及び湿潤オゾン温度の影響
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA系ポリマーの除去
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
イオン注入レジストの構造解析
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの溶媒キャストによるPVDFⅠ型の作製
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/CB複合材料における融点以下でのPTC特性発現
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
環状カーボネート/グリコール系溶剤によるネガ型レジストの除去
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/CNT複合材料の抵抗率ー温度特性に関する研究
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの溶融直後の熱処理による結晶構造制御
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF(ポリビニリデンフルオライド)の結晶構造の制御
第280回電気材料技術懇談会(大阪)   2011年   
半導体製造技術の最新事情について
金沢大学大学院 自然科学研究科 革新的LSI技術を分子変換および集積に応用する研究教育プログラム主催講演会   2011年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去について
ナノバブル利活用協議会中間報告会   2011年   
ポリフッ化ビニリデンのテラヘルツ誘電スペクトルの結晶構造依存性
分子科学討論会2011(札幌)   2011年   
光架橋したSU-8レジストの原子状水素による高速除去
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
導電性基板上に形成したBST/Eu添加SBT積層構造の特性評価
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(2)
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
レジスト膜の機械的強度測定と蒸気二流体による剥離
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
PVDF/Ni複合材料における融点以下でのPTC特性発現に対する考察
第60回高分子討論会   2011年   
水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応の解明
第60回高分子討論会   2011年   
PVDFの結晶構造に及ばすキャスト時の溶媒蒸発速度
第60回高分子討論会   2011年   
環境にやさしいポリマー除去技術の開発
第277回 電気材料技術懇談会   2011年   
樹脂/金属からなる導電性複合材料の温度-抵抗特性
電気学会研究会誘電・絶縁材料研究会   2011年   
湿潤オゾンによる加速エネルギーの異なるイオン注入レジストの除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
湿潤オゾンによる化学構造を変えたポリマーの除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
イオン注入レジストの構造と原子状水素による除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
化学構造を変えたポリマーの原子状水素による除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反応プロセスの体系化
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
原子状水素による高分子薄膜の分解除去とその反応機構
第60回高分子学会年次大会   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの結晶高次構造と誘電緩和挙動
第60回高分子学会年次大会   2011年   
PVDFフィルムの結晶構造と物性について
第60回高分子学会年次大会   2011年   
結晶性ポリマー/Ni粒子複合材料における正の抵抗温度係数特性のメカニズム解析
第60回高分子学会年次大会   2011年   
蒸気二流体によるレジスト剥離
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性のプリベーク温度依存性
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたナノインプリント用樹脂の除去
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
高濃度湿潤オゾンによるフォトレジストの高速除去
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたSU-8レジストの除去
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
ナノインプリント用樹脂の原子状水素による除去
応用物理学会北陸・信越支部セミナー   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素によるレジスト材料の分解反応の律速因子の解明
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
湿潤オゾンによるポリマー除去の反応メカニズムの解明
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性の現像温度依存性
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去に及ぼす基板温度及び湿潤オゾン温度の影響
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA系ポリマーの除去
平成23年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会(金沢)   2011年   
イオン注入レジストの構造解析
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの溶媒キャストによるPVDFⅠ型の作製
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/CB複合材料における融点以下でのPTC特性発現
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
環状カーボネート/グリコール系溶剤によるネガ型レジストの除去
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/CNT複合材料の抵抗率ー温度特性に関する研究
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの溶融直後の熱処理による結晶構造制御
第60回高分子学会北陸支部研究発表会(金沢)   2011年   
PVDF(ポリビニリデンフルオライド)の結晶構造の制御
第280回電気材料技術懇談会(大阪)   2011年   
半導体製造技術の最新事情について
金沢大学大学院 自然科学研究科 革新的LSI技術を分子変換および集積に応用する研究教育プログラム主催講演会   2011年   
湿潤オゾンを用いたレジスト除去について
ナノバブル利活用協議会中間報告会   2011年   
ポリフッ化ビニリデンのテラヘルツ誘電スペクトルの結晶構造依存性
分子科学討論会2011(札幌)   2011年   
光架橋したSU-8レジストの原子状水素による高速除去
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
導電性基板上に形成したBST/Eu添加SBT積層構造の特性評価
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(2)
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
レジスト膜の機械的強度測定と蒸気二流体による剥離
第72回応用物理学会学術講演会講演予稿集   2011年   
PVDF/Ni複合材料における融点以下でのPTC特性発現に対する考察
第60回高分子討論会   2011年   
水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応の解明
第60回高分子討論会   2011年   
PVDFの結晶構造に及ばすキャスト時の溶媒蒸発速度
第60回高分子討論会   2011年   
環境にやさしいポリマー除去技術の開発
第277回 電気材料技術懇談会   2011年   
樹脂/金属からなる導電性複合材料の温度-抵抗特性
電気学会研究会誘電・絶縁材料研究会   2011年   
湿潤オゾンによる加速エネルギーの異なるイオン注入レジストの除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
湿潤オゾンによる化学構造を変えたポリマーの除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
イオン注入レジストの構造と原子状水素による除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
化学構造を変えたポリマーの原子状水素による除去性
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反応プロセスの体系化
第8回Cat-CVD研究会   2011年   
原子状水素による高分子薄膜の分解除去とその反応機構
第60回高分子学会年次大会   2011年   
PVDF/PMMAブレンドの結晶高次構造と誘電緩和挙動
第60回高分子学会年次大会   2011年   
PVDFフィルムの結晶構造と物性について
第60回高分子学会年次大会   2011年   
結晶性ポリマー/Ni粒子複合材料における正の抵抗温度係数特性のメカニズム解析
第60回高分子学会年次大会   2011年   
蒸気二流体によるレジスト剥離
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性のプリベーク温度依存性
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたナノインプリント用樹脂の除去
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   
高濃度湿潤オゾンによるフォトレジストの高速除去
第58 回応用物理学関係連合講演会 (神奈川)   2011年   

担当経験のある科目

 
 

競争的資金等の研究課題

 
導電性複合材料のPTC特性(温度-抵抗率の正関数)に関する研究
PVDFの結晶構造に関する研究
レジストに関する研究
オゾンや水素ラジカルを用いた有機ポリマーの分解

特許

 
限流遮断装置
基板製造方法
フォトリソグラフィー方法
レジスト剥離剤及びレジスト剥離性能評価方法
パターン形成方法,モールドの回復方法,およびレプリカモールドの製造方法