宮本 岩男

J-GLOBALへ         更新日: 11/08/04 00:00
 
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研究者氏名
宮本 岩男
 
ミヤモト イワオ
所属
東京理科大学
学位
イオンスパッタ加工法の研究(東京大学)

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1967年
東京理科大学 理学部 応用物理学科
 

委員歴

 
 
   
 
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
 
   
 
日本学術振興会  日本学術振興会「似電粒子ビームの工業への応用」委員会委員
 
 
   
 
日本学術振興会  日本学術振興会「将来加工技術」委員会委員
 
1989年
 - 
2006年
精密工学会  超精密加工専門委員会幹事
 
1989年
 - 
2006年
日本学術振興会  「荷電粒子ビームの工業への応用」委員会
 

Misc

 
Y KUrashima, I Miyamoto, H Hiroshima and T Itatani
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   46(41-44) L1083-L1085   2007年
Ion beam machining of Si layer deposited on Zerodur substrate
Y Kurashima, T Tajima, I Miyamoto M Ando and A Numata
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B   26 934-938   2008年
S A Pahlovy, S F Mahmud, K Yanagimoto, and I Miyamoto
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A   29(2) 021015   2011年
ダイヤモンドのイオンビ-ム・電子ビ-ム加工
宮本岩男、谷口淳
砥粒加工学会誌   46(1) 25-28   2002年
ナノインプリント技術の現状
谷口淳、宮本岩男、古室昌徳、松井真二
砥粒加工学会誌   46(6) 282-285   2002年

書籍等出版物

 
図解 砥粒加工技術のすべて
株式会社 工業調査会   2006年   
日本機械学会編 機械工学便覧 デザイン編 ベ-タ3 加工学・加工機器
丸善   2006年   
ナノインプリント技術の現状
砥粒加工学会誌 Vol.46, №6, 2002, JUN   2002年   
加工技術データファイル 基礎編 特殊加工 4章 イオン加工
(財)機械振興協会技術研究所   2003年   
イオンビームと電子ビームを用いたダイヤモンドの微細加工
機械の研究 第55巻 第8号   2003年   

講演・口頭発表等

 
光ナノインプリントによる超平坦ミラーの作製(1)
2007年秋期 第68回 応用物理学会学術講演会   2007年   
Fabrication of Ultrasmooth Smooth Mirrors by UV-Nanoimprint
Microprocesses and Nanotechnology Conference 2007   2007年   
Etching effects on machined surface characteristics of single crystal Si
ICEM -2008   2008年   
Study on ultra smoothing of surface by low energy ion beam sputtering process.
The 7th Manufacturing & Machine Tool conference, (JSME)   2008年   
Ripple formation on atomically flat cleaved Si surface by low Energy Ar1+ Ion bombardment
ISSP 2009   2009年   

競争的資金等の研究課題

 
1)ダイヤモンドのイオンビ-ム加工 2)イオンビ-ムを用いたEUVLミラ-基板の形状修正
委託研究
研究期間: 1980年 - 2007年
1)イオンビ-ムを用いたダイヤモンド工具先端の先鋭化やリアクティブイオンビ-ムを用いたナノインプリント用ダイヤモンドモ-ルドの作製について検討している。 2)極端紫外光露光装置(EUVL)用の多層膜ミラ-基板のイオンビ-ム除去/付着を用いた形状修正に関する研究を行っている。