清水 裕樹

J-GLOBALへ         更新日: 17/09/05 03:36
 
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研究者氏名
清水 裕樹
 
シミズ ユウキ
URL
http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/47260949b9f99b4268993ac21e05c302.html
所属
東北大学
部署
大学院工学研究科 ファインメカニクス専攻 ナノメカニクス講座 精密ナノ計測学分野
職名
准教授
学位
博士(工学)(名古屋大学)

研究分野

 
 

経歴

 
2011年
   
 
東北大学大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 准教授
 
2002年
 - 
2011年
株式会社日立製作所 機械研究所/中央研究所/研究開発本部 研究員(2006~)
 

学歴

 
 
 - 
2009年
名古屋大学 工学研究科 機械理工学専攻
 
 
 - 
2002年
東北大学 工学研究科 機械電子工学専攻
 
 
 - 
2000年
東北大学 工学部 機械電子工学科
 

委員歴

 
2014年
   
 
砥粒加工学会  用語集改訂WG
 
2014年
   
 
精密工学会東北支部  庶務幹事
 
2012年
   
 
日本トライボロジー学会  研究委員会委員
 
2012年
   
 
日本機械学会  会誌編修部会委員
 
2012年
 - 
2013年
精密工学会東北支部  会計幹事
 

受賞

 
2016年
科学技術分野の文部科学大臣表彰 若手科学者賞
 
2013年
ASPEN Young Researcher Award
 
2014年
Excellent Paper Award
 
2012年
日本機械学会生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
 
2012年
日本トライボロジー学会 2011年度日本トライボロジー学会技術賞
 

Misc

 
An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement
Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao
Precision Engieering   47 72-80   2017年
Ultra-sensitive angle sensor based on laser autocollimation for measurement of stage tilt motions
Yuki Shimizu, Siew Leng Tan, Dai Murata, Taiji Maruyama, So Ito, Yuan-Liu Chen, Wei Gao
Optics Express   24(3) 2788-2805   2016年
Mode-locked laser autocollimator with an expanded measurement range
Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, So Ito and Wei Gao
Optics EXPRESS   24(14) 15554-15569   2016年
Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometre-level defect inspections on smooth surfaces
Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba and Wei Gao
Measurement Science and Technology      2014年
Design and Testing of a Four-probe Optical Sensor Head for Three-axis Surface Encoder with a Mosaic Scale Grating
Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Xinghui Li, WooJae Kim and Wei Gao
Measurement Science and Technology      2014年

書籍等出版物

 
計測工学
朝倉書店   2017年   
Micro-Cutting: Fundamentals and Applications
Wiley   2013年   
Nanofabrication
INTECH   2011年   ISBN:978-953-307-912-7

講演・口頭発表等

 
Micro Thermal Sensor for Nanometric Surface Defect Inspection
IEEE NANO 2016 (16th International Conference on Nanotechnology)   2016年   
Investigation on the sensitivity of an optical angle sensor based on laser autocollimation
International Symposium on Optoelectronic Technology and Application 2016 (OTA 2016)   2016年   
Laser interference lithography with a modified two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two-dimensional micro patterns
The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)   2015年   
接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微欠陥検出に関する研究
精密工学会秋季大会   2013年   
Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometer-level defect inspections on smooth surfaces
THE 11th INTERNATIONAL SYMPOSIUM OF MEASUREMENT TECHNOLOGY ANDINTELLIGENT INSTRUMENTS   2013年   

Works

 
ミリメートル級の長ストローク駆動におけるナノレベル位置決めを実現する超精密3軸XYZマイクロステージの開発
2016年 - 2018年
次世代ナノ位置決めステージを実現する超精密姿勢計測センサの開発
2015年 - 2016年
超精密加工用ダイヤモンド工具刃先のナノ・マイクロ摩耗定量評価技術の開発
2012年 - 2013年

競争的資金等の研究課題

 
熱検知接触型センサによるウェハ表面欠陥の高感度検出技術に関する研究
科学研究費補助金
研究期間: 2010年   
超精密加工用ダイヤモンド工具刃先のナノ・マイクロ摩耗定量評価技術の開発
研究期間: 2012年   
次世代超精密移動ステージ角度誤差計測用高精度3軸レーザオートコリメータの研究
科学研究費補助金
研究期間: 2012年 - 2014年
超高精度ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア
科学研究費補助金
研究期間: 2015年 - 2019年
微空間で精密に創成した高安定ナノ熱収支場による次世代超平滑面の非接触高速欠陥評価
科学研究費補助金
研究期間: 2015年 - 2017年