久保田智広 (Tomohiro Kubota) - マイポータル

基本情報

学位: 博士（理学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 201101056558989400
researchmap会員ID: 6000029932

外部リンク: http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/c5d6507608b6abc1528f063c02cf133e.html

研究キーワード

研究分野

経歴

2009年 - 2011年

東京大学生産技術研究所特任講師
2009年 - 2011年

東京大学, 生産技術研究所
2011年

- 東北大学流体科学研究所准教授
2011年

- Institute of Fluid Science, Tohoku University Associate Professor
2007年 - 2009年

東北大学流体科学研究所助教
2007年 - 2009年

東北大学, 流体科学研究所
2004年 - 2007年

東北大学流体科学研究所助手
2004年 - 2007年

東北大学, 流体科学研究所
2002年 - 2004年

東北大学大学院工学研究科講師（中核的研究機関研究員）
2002年 - 2004年

東北大学, 工学部
1999年 - 2002年

理化学研究所基礎科学特別研究員基礎科学特別研究員
1999年 - 2002年

Postdoctoral Researcher, RIKEN
2002年

理化学研究所協力研究員協力研究員
2002年

Postdoctoral Researcher, RIKEN
東北大学流体科学研究所附属未到エネルギー研究センターグリーンナノテクノロジー研究分野, 准教授

学歴

委員歴

2014年 - 2015年

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2014年 - 2015年

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2013年 - 2014年

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2013年 - 2014年

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2012年 - 2014年

2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, 実行委員
2012年 - 2014年

2014 IEEE International Nanoelectronics Conference, 実行委員
2014年

The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology, 総務委員会副委員長、現地実行委員会副委員長、実行委員
2014年

The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology, 総務委員会副委員長、現地実行委員会副委員長、実行委員
2012年 - 2013年

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2012年 - 2013年

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2011年 - 2012年

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2011年 - 2012年

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2010年 - 2011年

電気学会センサ・マイクロマシン部門（E部門）平成23年度総合研究会, 実行委員
2010年 - 2011年

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2010年 - 2011年

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, 幹事
2010年 - 2011年

電気学会センサ・マイクロマシン部門（E部門）平成23年度総合研究会, 実行委員
2010年 - 2011年

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2010年 - 2011年

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, 幹事
2009年 - 2010年

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員
2009年 - 2010年

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 論文委員

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MISC

128

Neutral Beam Technology – Defect-free Nanofabrication for Novel Nano-materials and Nano-devices

Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

228th ECS Meeting 2015- 2015年6月3日
A new metallic complex reaction etching for MRAM materials by a low-temperature neutral beam process

Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015 2015年
Transition Metal Complex Reaction Etching for MRAM Applications using Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation

Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, Toshihisa Nozawa, Seiji Samukawa

2015 International Conference on Solid State Devices and Materials 2015年
First-Principles Theoretical Investigation on Mechanism of New Transition Metal Etching Process using Oxygen and argon Neutral Beams and Ethanol Gas

Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, Seiji Samukawa

American Vacuum Society 62nd International Symposium & Exhibition 2015年
A new metallic complex reaction etching for MRAM materials by a low-temperature neutral beam process

Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015 2015年
Transition Metal Complex Reaction Etching for MRAM Applications using Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation

Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, Toshihisa Nozawa, Seiji Samukawa

2015 International Conference on Solid State Devices and Materials 2015年
Neutral Beam Technology – Defect-free Nanofabrication for Novel Nano-materials and Nano-devices

Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

228th ECS Meeting 2015年
First-Principles Theoretical Investigation on Mechanism of New Transition Metal Etching Process using Oxygen and argon Neutral Beams and Ethanol Gas

Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, Seiji Samukawa

American Vacuum Society 62nd International Symposium & Exhibition 2015年
Improved numerical calculation of the generation of a neutral beam by charge transfer between chlorine ions/neutrals and a graphite surface

Tomohiro Kubota, Naoki Watanabe, Shingo Ohtsuka, Takuya Iwasaki, Kohei Ono, Yasuroh Iriye, Seiji Samukawa

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 47(46) 465203-1-465203-6 2014年11月
Improved numerical calculation of the generation of a neutral beam by charge transfer between chlorine ions/neutrals and a graphite surface

Tomohiro Kubota, Naoki Watanabe, Shingo Ohtsuka, Takuya Iwasaki, Kohei Ono, Yasuroh Iriye, Seiji Samukawa

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 47(46) 465203-1-465203-6 2014年11月
Fabrication and evaluation of silicon micromechanical resonator using neutral beam etching technology

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Seknar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, IEEE-NEMS 2014 1-5 2014年9月23日
Mechanical quality factor enhancement in a silicon micromechanical resonator by low-damage process using neutral beam etching technology

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering 24(8) 085005-1-085005-11 2014年8月1日
Mechanical quality factor enhancement in a silicon micromechanical resonator by low-damage process using neutral beam etching technology

Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, Takahito Ono

Journal of Micromechanics and Microengineering 24(8) 085005-1-085005-11 2014年8月1日
Feature Profile Evolution in Plasma Processing using On-wafer Monitoring System

Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing 2014年
Damage-free AlGaN/GaN Recess-Gate Etching using Cl2 Neutral Beam for High-Performance HEMTs

Halubai Sekhar, Tomohiro Kubota, Takeru Okada, Yosuke Tamura, ChangYong Lee, Jitsuo Ohta, Hiroshi Fujioka, Seiji Samukawa

The 3rd International Symposium on Next-Generation Electronics 2014年
Numerical study on generation process of neutral beam by collision of ions against graphite surface

Tomohiro Kubota, Naoki Watanabe, Shingo Ohtsuka, Takuya Iwasaki, Kohei Ono, Yasuroh Iriye, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014 2014年
New trends in NEMS/MEMS device using neutral beam etching technology

Sekhar Halubai, Toan Nguyen Van, Tomohiro Kubota, Takahito Ono, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014 2014年
Development of damage-free neutral beam processes for future nano-devices

Takuya Ozaki, Takeru Okada, Tomohiro Kubota, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014 2014年
Conductive DLC deposition by NBECVD for application of Bio-LSI

Xijiang Chang, Yoshiyuki Kikuchi, Tomohiro Kubota, Kumi Y.Inoue, Tomokazu Matsue, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014 2014年
Prediction of plasma etching profile using on-wafer monitoring system

Tomohiro Kubota, Michio Sato, Takuya Iwasaki, Kohei Ono, Seiji Samukawa

The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference 2014 2014年

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講演・口頭発表等

328

中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
Mask less neutral beam texturing to make nano holes on micro pyramids; broadband optical light trapping in thin wafer based Si (<100 µm) solar cells

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
Mask less neutral beam texturing to make nano holes on micro pyramids; broadband optical light trapping in thin wafer based Si (<100 µm) solar cells

第63回応用物理学会春季学術講演会 2016年
Patterning of High-k/metal gate Stack by Neutral Beam Etching Technique for Sub-20 nm CMOS Technology

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年
酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(2)

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年
A new metallic complex reaction etching for MRAM materials by a low-temperature neutral beam process

Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015 2015年
酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(3)

第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年
Damage free neutral beam texturing of honeycomb pattern for the application of light trapping in Si Solar cells

第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年
Nano holes on micro pyramids: modulated surface texturing with neutral beam for the application of optical trapping in Si Solar cells

第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年
Transition Metal Complex Reaction Etching for MRAM Applications using Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation

2015 International Conference on Solid State Devices and Materials 2015年
Neutral Beam Technology – Defect-free Nanofabrication for Novel Nano-materials and Nano-devices

228th ECS Meeting 2015年
First-Principles Theoretical Investigation on Mechanism of New Transition Metal Etching Process using Oxygen and argon Neutral Beams and Ethanol Gas

AVS 62nd International symposium and exhibition 2015年
Patterning of High-k/metal gate Stack by Neutral Beam Etching Technique for Sub-20 nm CMOS Technology

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年
酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(2)

第62回応用物理学会春季学術講演会 2015年
A new metallic complex reaction etching for MRAM materials by a low-temperature neutral beam process

Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015 2015年
酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(3)

第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年
Damage free neutral beam texturing of honeycomb pattern for the application of light trapping in Si Solar cells

第76回応用物理学会秋季学術講演会 2015年

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所属学協会

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Works(作品等)

さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点

2013年 - 2016年
さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点

2013年 - 2016年
次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

2012年 - 2015年
次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

2012年 - 2015年
最先端電池基盤技術コンソーシアム

2013年
最先端電池基盤技術コンソーシアム

2013年

共同研究・競争的資金等の研究課題

第一原理理論計算と表面解析によるプラズマ・ビーム表面反応プロセスの機構解明

科学研究費補助金 2014年
Study on plasma/beam surface reaction mechanisms based on first-principles theoretical calculation and surface analysis

Grant-in-Aid for Scientific Research 2014年
オンウェハモニタリングとシミュレーションの融合によるエッチング形状・ダメージ予測システムの開発

2011年
Development of plasma etching and damage prediction system by combination of on-wafer monitoring and simulation

2011年
バイオナノプロセスによるシリコンナノ構造作製と解析

1997年 - 2008年
大口径中性粒子ビーム装置の開発

2008年
Development of large-diameter neutral beam source and application

2008年

久保田智広

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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