安田 雅昭

J-GLOBALへ         更新日: 10/03/31 00:00
 
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研究者氏名
安田 雅昭
 
ヤスダ マサアキ
所属
大阪府立大学
部署
大学院工学研究科 電子・数物系専攻 電子物理工学分野
職名
准教授
学位
博士(工学)(大阪府立大学)

研究キーワード

 
 

研究分野

 
 

学歴

 
 
 - 
1994年
大阪府立大学 工学研究科 電子工学
 
 
 - 
1989年
大阪府立大学 工学部 電子工学
 

Misc

 
0. 1μm fine-pattern fabrication using variable-shaped electron beam lithography
Japanese Journal of Applied Physics   28(12) L2281   1989年
The spatial distribution of backscattered electrons revisited with a new Monte Carlo simulation
Scanning Microscopy   6(4) 943   1992年
Resist heating effect in electron beam lithography
Journal of Vacuum Science and Technology B   12(3) 1362   1994年
YASUDA M, KAWATA H, MURATA K
Journal of Applied Physics   77(9) 4706-4713   1995年
MURATA K, YASUDA M, KAWATA H, MATSUDA T
Journal of Vacuum Science and Technology B   13(3) 821-825   1995年

書籍等出版物

 
表面分析技術選書 計算シミュレーションと分析データ解析 第4・2節 電子散乱のシミュレーション
丸善株式会社   2008年   
Lithography, Capt.26 : Molecular Dynamics Study on Mold and Pattern Breakages in Nanoimprint Lithography
IN-TECH   2010年   

競争的資金等の研究課題

 
電子散乱のモンテカルロ・シミュレーション
その他の研究制度
電子ビーム照射に伴う絶縁物帯電現象の解析
その他の研究制度
ナノ材料の電子線照射効果の解析
科学研究費補助金