田嶋聡美 (Tajima Satomi) - マイポータル

基本情報

所属: 株式会社デンソー

学位: PhD(カリフォルニア大学バークレー校)

J-GLOBAL ID: 201201046563535745
researchmap会員ID: B000225116

外部リンク: https://www.researchgate.net/profile/Satomi_Tajima?ev=prf_highl

専門は、プラズマプロセスによる表面改質、異種材料接合、第一原理計算を用いた表面反応解析です。
趣味は温泉巡り、ハーブ栽培、写真撮影です。

研究キーワード

研究分野

経歴

2023年4月 - 現在

（株）デンソーセミコンダクタ品質保証部, 課長

学歴

2002年9月 - 2006年12月

カリフォルニア大学バークレー校, 工学部, 機械工学科博士課程
2001年3月 - 2001年12月

ワシントン大学, 工学部, 材料科学科修士課程
1998年9月 - 2001年3月

ワシントン大学, 工学部, 航空宇宙学科修士課程

論文

241

Efficient scheme for calculating work of adhesion between a liquid and polymer-grafted substrate

M. Uranagase, S. Ogata, K. Tanaka, H. Mori, S. Tajima

J. Chem. Phys. 149(6) 064703-1-064703-1 - 064703-9 2018年8月査読有り
240

Effects of thermal aging on Cu nanoparticle/Bi-Sn solder hybrid bonding

M. Usui, T. Satoh, H. Kimura, Y. Hayashi, D. Setoyama, M. Kato

MICROELECTRONICS RELIABILITY 78 93-99 2017年11月査読有り
145

Behavior of eutectic Sn-Bi powder in Cu nanoparticle joints during the thermal treatment

S. Tajima, T. Satoh, T. Ishizaki, M. Usui

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS 28(12) 8764-8770 2017年6月査読有り
Low temperature plasma processing for cell growth inspired carbon thin films fabrication

Manish Kumar, Jin Xiang Piao, Su Bong Jin, Jung Heon Lee, Satomi Tajima, Masaru Hori, Jeon Geon Han

ARCHIVES OF BIOCHEMISTRY AND BIOPHYSICS 605 41-48 2016年9月査読有り
152

Role of surface-electrical properties on the cell-viability of carbon thin films grown in nanodomain morphology

Amjed Javid, Manish Kumar, Seokyoung Yoon, Jung Heon Lee, Satomi Tajima, Masaru Hori, Jeon Geon Han

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 49(26) 264001-1-7 2016年7月査読有り招待有り
173

Evaluation of the Difference in the Rate Coefficients of F-2 + NOx (x=1 or 2) -> F + FNOx by the Stereochemical Arrangement Using the Density Functional Theory

Satomi Tajima, Toshio Hayashi, Masaru Hori

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY A 119(8) 1381-1387 2015年2月査読有り
172

High sensitivity of a carbon nanowall-based sensor for detection of organic vapours

P. Slobodian, U. Cvelbar, P. Riha, R. Olejnik, J. Matyas, G. Filipic, H. Watanabe, S. Tajima, H. Kondo, M. Sekine …

RSC ADVANCES 5(110) 90515-90520 2015年査読有り
283

Formation of nanoporous features, flat surfaces, or crystallographically oriented etched profiles by the Si chemical dry etching using the reaction of F2 + NO → F + FNO at an elevated temperature

Satomi Tajima, Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

Journal of Physical Chemistry C 117(40) 20810-20818 2013年10月10日査読有り
340

Room-Temperature Si Etching in NO/F-2 Gases and the Investigation of Surface Reaction Mechanisms

Satomi Tajima, Toshio Hayashi, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C 117(10) 5118-5125 2013年3月査読有り
High-rate reduction of copper oxide using atmospheric-pressure inductively coupled plasma microjets

Satomi Tajima, Shouichi Tsuchiya, Masashi Matsumori, Shigeki Nakatsuka, Takanori Ichiki

THIN SOLID FILMS 519(20) 6773-6777 2011年8月査読有り
Optical and electrical characterization of pulse-modulated argon atmospheric-pressure inductively coupled microplasma jets

Satomi Tajima, Masashi Matsumori, Shigeki Nakatsuka, Shouichi Tsuchiya, Takanori Ichiki

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 108(8) 083302-1-5 2010年10月査読有り
On/off Pulse Modulation of Atmospheric-Pressure Helium/Argon Inductively Coupled Plasma Microjet for Plasma Processing of Polymers

Satomi Tajima, Shoichi Tsuchiya, Masashi Matsumori, Shigeki Nakatsuka, Takanori Ichiki

JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 23(4) 555-560 2010年査読有り
Reduction of Copper Oxide Films by an Atmospheric-Pressure Inductively Coupled Plasma Microjet

田嶋聡美, 土屋章一, 松森正史, 中塚茂樹, 一木隆範

Trans. Mater. Res. Soc. Jpn. 35 (2010) 621-625. 35 621-625 2009年査読有り
Differential regulation of endothelial cell adhesion, spreading, and cytoskeleton on low-density polyethylene by nanotopography and surface chemistry modification induced by argon plasma treatment

S. Tajima, J. S. F. Chu, S. Li, K. Komvopoulos

JOURNAL OF BIOMEDICAL MATERIALS RESEARCH PART A 84A(3) 828-836 2008年3月査読有り
Physicochemical properties and morphology of fluorocarbon films synthesized on crosslinked polyethylene by capacitively coupled octafluorocyclobutane plasma

S. Tajima, K. Komvopoulos

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY C 111(11) 4358-4367 2007年3月査読有り
Dependence of nanomechanical modification of polymers on plasma-induced cross-linking

S. Tajima, K. Komvopoulos

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 101(1) 014307 1-014307 8 2007年1月査読有り
Effect of reactive species on surface crosslinking of plasma-treated polymers investigated by surface force microscopy

S. Tajima, K. Komvopoulos

APPLIED PHYSICS LETTERS 89(12) 124102 1-124102 3 2006年9月査読有り
Effect of ion energy fluence on the topography and wettability of low-density polyethylene exposed to inductively coupled argon plasma

S Tajima, K Komvopoulos

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 39(6) 1084-1094 2006年3月査読有り
Surface modification of low-density polyethylene by inductively coupled argon plasma

S Tajima, K Komvopoulos

JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY B 109(37) 17623-17629 2005年9月査読有り
Surface characterization of IM7/5260 composites by X-ray photoelectron spectroscopy

Satomi Ohno, Satomi Tajima, Moon -Hwan Lee, Kuen Y. Lin, Fumio S. Ohuchi

J. Vac. Sci. Technol. A 19 1116-1120 2001年2月12日査読有り

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書籍等出版物

パワーデバイス実装に用いられる異種材料のプラズマ接着前処理

田嶋聡美 (担当:分担執筆, 範囲:エレクトロニクス実装学会誌 19 (2) (2016) 111-119)

一般社団法人エレクトロニクス実装学会 2016年2月
プラズマを用いた異種材料の表面改質と接着前処理のノウハウ

田嶋聡美 (担当:分担執筆, 範囲:超精密加工専門委員会会誌『超精密 Vol.21』)

公益社団法人精密工学会 2015年12月
F2+NOx→F+FNOxを用いたSi系材料ケミカルドライエッチングにおける大気中水分のエッチングレートへの寄与

田嶋聡美 (担当:分担執筆, 範囲:日本真空学会SP部会薄膜・機能材料を用いたアクアイノベーション～成膜，微細加工技術から分析・応用まで～)

一般社団法人日本真空学会 2015年6月

講演・口頭発表等

磁性ナノ粒子へのNiフェライト被膜形成時の酸化還元電位の影響

田嶋聡美, 黄晸煥, 石崎敏孝, 明渡邦夫

2019年3月26日日本セラミックス協会
Modeling molecules responsible for the sidewall protection during the chemical dry etching of silicon related materials using F2 + NOx -> F + FNOx

田嶋聡美, 林俊雄, 山川晃司, 佐々木実, 石川健治, 関根誠, 堀勝

9th International Conference on Reactive Plasmas/68rd Gaseous Electronics Conference /33th Symposium on Plasma Processing, (ICRP-9/GEC-68/SPP-33) 2015年10月14日
Change in optical properties by texturing Si compounds by F2 and NOx gases

田嶋聡美, 林俊雄, 佐々木実, 山川晃司, 石川健治, 関根誠, 堀勝

Japan Society of Applied Physics (JSAP)-Optical Society of America (OSA) Joint Symposia 2015 2015年9月14日
Chemical dry etching of Si using F2 and NO2 gases at elevated temperature

田嶋聡美, 林俊雄, 石川健治, 関根誠, 堀勝

7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials/8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2015/IC-PLANTS2015) 2015年3月30日

共同研究・競争的資金等の研究課題

ゲート周辺ダメージ層除去プラズマレス低速平滑エッチング技術開発とメカニズム解明

文部科学省科学研究費補助金（若手研究A） 2014年4月 - 2017年3月

田嶋聡美
周期表の中のＣ、Ｎ、Ｏ、Ｆと身近な材料がどのようにくっつくか調べよう

日本学術振興会平成27年度ひらめき☆ときめきサイエンス 2015年4月 - 2016年3月

田嶋聡美
量産ラインに用いるプラズマ気相堆積膜の高速ばらつき評価システムの開発

文部科学省平成26年度科学技術人材育成費補助事業「女性研究者研究活動支援事業（連携型）」 2015年1月 - 2015年3月

田嶋聡美
大気圧プラズマによる超高速・超機能化異種材料接合オープンプラットフォームの構築

経済産業省平成25年度補正予算大学におけるオープンプラットフォーム構築支援事業 2014年7月 - 2015年3月
ナノカーボン多層構造物を用いた超小型炭素水素化合物センサーの開発

文部科学省科学研究費補助金(挑戦的萌芽研究) 2013年4月 - 2015年3月

田嶋聡美
４-８インチウエハでのMEMS犠牲層エッチング量産加工が可能なプラズマレスSiケミカルドライエッチング装置の開発

独立行政法人科学技術振興機構平成25年度第1回研究成果最適展開支援プログラム(A-step) 【FS】シーズ顕在化タイプ 2013年9月 - 2014年8月

田嶋聡美
高性能真空紫外吸収分光および応力分布計算によるトライボプラズマの発生メカニズムの解明

独立行政法人日本学術振興会平成24年度若手外国人研究者申請助成金 2014年1月 - 2014年3月

田嶋聡美
低コスト、省エネ、低環境負荷、低ダメージプラズマレスエッチング手法の開発とエッチング中の気相、表面の分子動的挙動の解明

公益財団法人立松財団一般研究助成 2012年6月 - 2013年7月

田嶋聡美
パルス駆動ヘリウム誘導結合型マイクロプラズマを用いた重金属元素分析の高精度化

文部科学省科学研究費補助金(若手研究(B)) 2010年 - 2011年

田嶋聡美

産業財産権

特開2019-181710 金属樹脂接合体

田嶋聡美、明渡邦夫、野田浩司、堀江俊男、門浦弘明、土森正昭、泉龍介、大澤青吾
特開2019-181711 金属樹脂接合体

田嶋聡美、石崎敏孝、野田浩司、明渡邦夫、堀江俊男、土森正昭、泉龍介、大澤青吾、森穂高、神田和輝
特開2019-154512 排出促進具

田嶋聡美, 田中倫子, 牧野玲子, 市毛敬介, 町田悟, 吉田広顕
特開2019-129943 粘着ユニット

市毛敬介, 牧野玲子, 田嶋聡美, 田中倫子, 町田悟
特開2019-079914 半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法

田嶋聡美, 明渡邦夫, 石崎敏孝, 野田浩司, 田口理恵, 土森正昭
特開2019-071328 半導体実装基板、半導体モジュールおよび半導体実装基板の製造方法

田嶋聡美, 明渡邦夫, 臼井正則, 桑原誠, 庄司智幸, 土森正昭
特開2018-196974 気密シール構造体

田嶋聡美, 明渡邦夫, 臼井正則, 泉龍介, 森穂高, 石川素美, 大澤青吾
特開2018-129325 半導体モジュールとその製造方法

田嶋聡美, 臼井正則
特開2018-098431 半導体モジュールとその製造方法

田嶋聡美, 臼井正則, 佐藤敏一
特許6021131 エッチング方法およびエッチング装置

林俊雄, 田嶋聡美, 石川健治, 堀勝
特開2016-152367 エッチング装置及びエッチング方法

田嶋聡美, 林俊雄, 堀勝
特許5888674 ガスエッチング技術

堀勝, 石川健治, 田嶋聡美, 林俊雄
特許US8927283 バイオポリマー表面上での細胞の成長

Komvopoulos, Kyriakos, Tajima, Satomi
特開2014-179553 エッチング方法およびエッチング装置

田嶋聡美, 林俊雄, 石川健治, 堀勝
特許US 8168074 Modification of polymer surface with shielded plasma

Komvopoulos, Kyriakos, Tajima, Satomi
特許US7879418 フルオロカーボンフィルムをポリマー上に作製する手法の開発

Kyriakos, Komvopoulos, Tajima, Satomi

社会貢献活動

481

周期表の中のＣ、Ｎ、Ｏ、Ｆと身近な材料がどのようにくっつくか調べよう

講師, 実演

名古屋大学学術研究・産学官推進本部 Aichi Science Festival 2015年8月4日 - 2015年8月4日
電気自動車・スマホの心臓部のものづくりを分子レベルで考えよう

講師

愛知県教育委員会事務局高等学校教育課「知の探究講座」開講式名古屋大学坂田・平田ホール（理学南館） 2015年7月23日 - 2015年7月23日
スマホを作るテクノロジーのはなし

講師

名古屋大学学術研究・産学官推進本部名古屋大学オープンレクチャー2015 http://www.nagoya-u.ac.jp/about-nu/public-relations/publication/upload_images/no.264.pdf 2015年3月21日 - 2015年3月21日
54

Science and Me

企画, 実演

名古屋大学URA 名大カフェ「人肌の材料工学」ジュンク堂書店 2015年2月18日 - 2015年2月18日
125

エコで、「くっつく」サイエンス

講師, 実演

名古屋大学学術研究・産学官推進本部愛知サイエンスフェスティバル 2014年11月1日 - 2014年11月1日
114

「中高時代の勉強がどのように「ものづくり」に役立つか？」

講師

名古屋大学女子中高生理系進学推進セミナー名古屋大学豊田講堂 2014年8月6日 - 2014年8月6日
名古屋商工会議所の皆様ご訪問

講師, 実演

名古屋大学工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター名古屋大学 2014年8月6日 - 2014年8月6日
77

Science and Me

講師

名古屋大学URA どうして「もの」はくっつくか 2013年1月29日 - 2013年1月29日