上柿 順一

J-GLOBALへ         更新日: 17/02/24 18:37
 
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研究者氏名
上柿 順一
 
ウエガキ ジュンイチ
所属
株式会社 エリオニクス
部署
本社
職名
役員
学位
理学博士(東北大学)

研究分野

 
 

経歴

 
2016年1月
 - 
現在
株式会社 エリオニクス 本社 役員
 
2012年1月
 - 
2015年12月
国立研究開発法人 理化学研究所 大森素形材工学研究室 支援研究員
 
1986年6月
 - 
2011年12月
株式会社 エリオニクス 開発技術部 主幹
 
2001年4月
 - 
2011年3月
長岡技術科学大学 技術開発センター 客員教授
 
1984年6月
 - 
1986年5月
ブリティッシュコロンビア大学(カナダ) トライアンフ(TRIUMF)研究所 研究員
 

学歴

 
1971年4月
 - 
1976年3月
東北大学大学院 理学研究科 博士課程 原子核理学専攻
 
1966年4月
 - 
1970年3月
富山大学 文理学部 理学科物理学専攻
 

受賞

 
2000年3月
財団法人機械振興協会 第30回中堅・中小企業新機械開発賞 高加速電界放射型電子線描画装置の開発
受賞者: 上柿 順一 (株式会社 エリオニクス)
 

論文

 
Development of Ni‐P-Plated Inconel Alloy Mold for Imprinting on Pyrex Glass.
H.Mekaru、C.Okuyama、T. Tsuchida、M. Yasui、T.Kitadani、M. Yamasita、J.Uegaki and M. Takahashi
Japanese Journal of Applied Physics 48 (2009) 06FH06      [査読有り]
Micro Lens Imprinted on Pyrex Glass by using Amorphous Ni‐P Alloy Mold.
H. Mekaru、T. Tsuchida、J.Uegaki、M. Yasui、M. Yamasita and
Microelectronic Engineering 85 (2008) 873 - 876.      [査読有り]
Micro Press Molding of Borosilicate Glass Using Plated Ni-W Molds.
M.Yasui, M.Takahashi, S.Kaneko, T.Tsuchida, Y.Hirabayasi, K.Sugimoto, J.Uegaki and R. Maeda
Japanese Journal of Applied Physics Vol.46, No.9B, (2007) pp.6378 - 6381.      [査読有り]
Active Shielding Suitable for Electron-Beam Lithography Systems.
K. Yamazaki, K. Kato, K. Ashiho, T. Uda, K. Fujiwara, N. Takahashi, A. Haga, T. Sato, J.Uegaki and Y. Sakuma
IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, Vol. 39, No.5,(2003)3229.   
Measurement of the Neutrons Emitted in the Proton-induced Fission of 209Bi and 238U at 475 MeV.
Z.Fraenkel,A.Breskin,R.Chechik,S.Wald,R.Abegg,H.W.Fielding,P.Kitching,S.T.Lam,G.C.Neilson,W.C.Olsen and J.Uegaki
Physical Review C41(1990)1050.      [査読有り]

Misc

 
Application of Continuous Mltiple Loading with Spherical-tip Nano-indentation to Mechanical Property Evaluations of Industrial Materials
I.Ihara、T.Matsumoto、Y.Yajima、J.Uegaki and Y.Shima
IMECO 2010 TC3 and TC22 Conferences Metrology in Modern Context. Nov. 2010, Pattaya, Chonburi, Thailand.      [査読有り]
超微細加工用125kV電子ビーム描画装置
土田智之、小若裕則、布川博、上柿順一
(独)日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 第191回研究会資料(2010年7月30日)p.28   
高加速電圧電子線描画装置
田口佳男、布川博、上柿順一
(独)日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 第189回研究会資料(2010年1月29日)p.31   
集束イオンビームを利用した超高精度ナノ加工装置とその応用
上柿順一、土田智之、吉野修司、篠塚聡哉、本目精吾、*井原郁夫
(独)日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 第175回研究会資料(2007年1月26日)p.17   
Focused Ion Beam System equipped with 3D-CAD for Nano-scale Fabrication
J. Uegaki、T. Tsuchida、S. Yoshino、T. Shinotsuka、and S. Honme
International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2006. Digest of Papers p.108.   

講演・口頭発表等

 
磁性流体研磨剤を使用した切削時同時研磨の試み [招待有り]
上柿 順一
第26回テクニスト研究会   2015年7月31日   
反射鏡による太陽光熱収集の試み [招待有り]
上柿 順一
理研シンポジウム 「明るい未来の光熱エネルギー」   2015年1月9日   
電子ビーム描画装置の紹介とその技術継承に関する雑感 [招待有り]
上柿 順一
第5回技術継承フォーラム「ものづくり技能継承の現状と展望」   2013年1月21日   
Nano scale Fabrication by using Focused Ion Beam Milling System
J. Uegaki
The Third International Conference on nano Manufacturing   2012年7月26日   
集束イオンビームを利用した超微細加工装置と加工例 [招待有り]
上柿 順一
第42回マイクロ加工懇談会 マイクロ加工研究会   2012年2月23日   

競争的資金等の研究課題

 
ダイヤモンド電子銃を搭載した電子ビーム描画装置の開発
NEDO: 課題設定型産業技術開発費助成金
研究期間: 2006年11月 - 2009年9月
ヘリコン波プラズマを用いたエッチング装置の試作
関東通商産業局: 技術改善費等補助金
研究期間: 1993年4月 - 1994年3月