特許権 検査装置 国立大学法人東北大学, 株式会社イシダ 小川 雄一, 栖原 一浩, 玉井 裕, 久保 拓右 出願番号 特願2007-159413 出願日 2007年6月15日 公開番号 特開2008-309725 公開日 2008年12月25日 特許番号/登録番号 特許第5130528号 登録日 2012年11月16日 発行日 2012年11月16日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303095026041286URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201303095026041286 ID情報 J-Global ID : 201303095026041286