特許権 光変調器 兵庫県公立大学法人兵庫県立大学 榎原 晃 出願番号 特願2019-506980 出願日 2018年3月22日 特許番号/登録番号 特許7037199 登録日 2022年3月8日 発行日 2022年3月16日 権利者 兵庫県公立大学法人兵庫県立大学
