2019年 磁気混合流体を用いた平面内微細溝に対する精密研磨特性 精密工学会大会学術講演会講演論文集 西田均, 山本久嗣, 島田邦雄, 井門康司, 百生登 巻 2019 号 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902275489981095 ID情報 J-Global ID : 201902275489981095 エクスポート BibTeX RIS
