2018年4月19日
プラズマ励起加湿アルゴンを用いた低温イットリア原子層堆積法 (電子デバイス)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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- 巻
- 118
- 号
- 9
- 開始ページ
- 29
- 終了ページ
- 32
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 電子情報通信学会
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40021538706
- ID情報
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- ISSN : 0913-5685
- CiNii Articles ID : 40021538706
- identifiers.cinii_nr_id : 9000017716549