講演・口頭発表等

国際会議
2016年5月

RT Atomic Layer Deposition of ZrO2 By Using Plasma Excited Water Vapor

229th ECS meeting
  • K. Kanomata
  • ,
  • K. Tokoro
  • ,
  • T. Imai
  • ,
  • P. P. Pansila
  • ,
  • M. Miura
  • ,
  • B. Ahmmad
  • ,
  • S. Kubota
  • ,
  • K. Hirahara
  • ,
  • F. Hirose

記述言語
英語
会議種別
ポスター発表