2019年7月
Low-temperature Atomic Layer Deposition of Yttrium Oxide using tris(butylcyclo pentadienyl) yttrium and a Plasma-Excited Humidified Argon
AVS 19th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2019)
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- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- ポスター発表