基本情報

所属
東京大学 生産技術研究所 教授
(兼任) 生産技術研究所 教授
学位
博士(工学)(東京大学)

研究者番号
50282603
J-GLOBAL ID
201701014562997727

外部リンク

1996年に東京大学大学院工学系研究科、電気工学専攻博士課程修了、同年4月に東京大学生産技術研究所の講師に採用。1999年4月から2001年3月まで、カリフォルニア大学ロサンゼルス校電気工学科の客員助教授、光MEMSの通信応用に従事。2002年より東大生産研の助教授、2009年5月より同教授、同7月より東京大学先端科学技術研究センター教授。2005年から2008年にかけて、財団法人神奈川科学技術アカデミー「光メカトロニクス」研究室長を兼務。2011年2月から2014年3月にかけて、日本学術振興会の最先端・次世代研究開発支援プログラム「集積化MEMS技術による機能融合・低消費電力エレクトロニクス」を実施。研究分野はMEMS技術の微小光学応用とRF—MEMS応用、集積化MEMS設計・製造技術。

研究キーワード

  1

論文

  367

MISC

  157

書籍等出版物

  6

共同研究・競争的資金等の研究課題

  18