猪熊孝夫 (Takao Inokuma) - マイポータル

基本情報

所属: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系教授

学位: 工学博士(筑波大学)

J-GLOBAL ID: 200901092423793902
researchmap会員ID: 1000020373

研究キーワード

研究分野

経歴

1999年 - 2001年

: 金沢大学准教授
1999年 - 2001年

: Kanazawa University
2001年

-: 金沢大学准教授
2001年

-: Kanazawa University
1996年 - 1999年

: 金沢大学講師
1996年 - 1999年

: Kanazawa University
1995年 - 1996年

: 金沢大学助手
1995年 - 1996年

: Kanazawa University
1992年 - 1995年

: 金沢大学助手
1992年 - 1995年

: Kanazawa University
1991年 - 1992年

: 金沢大学助手
1991年 - 1992年

: Kanazawa University

学歴

論文

Selective homoepitaxial growth of buried diamond films with NV centers

K. Hayashi, Y. Nakamura, M. Katayama, K. Shimamura, R. Yoshida, K. Kobayashi, K. Ichikawa, T. Yoshikawa, T. Matsumoto, T. Inokuma …

Carbon 251 121307-121307 2026年3月
Performance enhancement of diamond p+–i–n+ diodes employing electron injection through heavily nitrogen–doped layers

Taichi Miyazaki, Kan Hayashi, Kazuki Kobayashi, Kimiyoshi Ichikawa, Taro Yoshikawa, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto

Diamond and Related Materials 163 113416-113416 2026年3月
Effects of nitrogen addition on hydrogen plasma etching of diamond

K. Hayashi, Y. Nakamura, M. Katayama, R. Yoshida, K. Kobayashi, K. Ichikawa, T. Yoshikawa, T. Matsumoto, T. Inokuma, S. Yamasaki …

Diamond and Related Materials 160 113045-113045 2025年12月
Suppression of on-resistance variability by buried source/drain structures in inversion type diamond MOSFETs

Kai Sato, Tsubasa Yoshimoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Diamond and Related Materials 113205-113205 2025年12月
Fabrication of inversion channel diamond MOSFET with atomically step-free Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface

Kazuki Kobayashi, Kai Sato, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Carbon 235 2025年3月10日
Diamond (111) Homoepitaxy Via Hot-Filament Chemical Vapor Deposition: Growth Mode, Transition Metal Incorporation, and Twin Formation

Kimiyoshi Ichikawa, Kazuki Kobayashi, Tsubasa Matsumoto, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

2025年
Formation of low-dimensional nanopit structures on atomically flat surfaces of diamond (111) by nickel nanoparticles

Kan Hayashi, Kazuki Kobayashi, Madoka Katayama, Yuhi Kaneko, Kimiyoshi Ichikawa, Taro Yoshikawa, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

Applied Surface Science 669 2024年10月1日
Diamond Homoepitaxial Growth Technology toward Wafer Fabrication, Atomically Controlled Surfaces, and Low Resistivity

Kimiyoshi Ichikawa, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

ACCOUNTS OF MATERIALS RESEARCH 5(10) 1181-1193 2024年8月14日
Fabrication of lateral diamond MOSFET with buried pn-junctions by diamond surface planarization based on carbon solid solution into nickel

Tsubasa Kano, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Taro Yoshikawa, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto

Diamond and Related Materials 147 2024年8月
Fabrication and characterization of diamond (100) p⁺-i-n⁺ diodes with heavily nitrogen-doped films

Yuki Matsushima, Mikiya Mura, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Taro Yoshikawa, Toshiharu Makino, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 145 2024年5月
Impact of water vapor annealing treatments on Al2O3/diamond interface

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Mitsuru Sometani, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

AIP Advances 2024年3月1日査読有り
Electrical characterization of Al₂O₃/diamond MOS interface under various wet-annealing times

Zhang Xufang, Matsumoto Tsubasa, Sometani Mitsuru, Ogura Masahiko, Makino Toshiharu, Takeuchi Daisuke, Nebel Christoph.E, Inokuma Takao, Yamasaki Satoshi, Tokuda Norio

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2022.2 1395-1395 2022年8月26日
Selectively buried growth of heavily B doped diamond layers with step-free surfaces in N doped diamond (1 1 1) by homoepitaxial lateral growth

Kazuki Kobayashi, Xufang Zhang, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

Applied Surface Science 593 2022年8月15日
Impact of nitrogen doping on homoepitaxial diamond (111) growth

Yuta Nakano, Xufang Zhang, Kazuki Kobayashi, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 125 2022年5月
Insight into temperature impact of Ta filaments on high-growth-rate diamond (100) films by hot-filament chemical vapor deposition

Yue Takamori, Masatsugu Nagai, Taira Tabakoya, Yuto Nakamura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 118 2021年10月
Mechanical damage-free surface planarization of single-crystal diamond based on carbon solid solution into nickel

Kazuto Sakauchi, Masatsugu Nagai, Taira Tabakoya, Yuto Nakamura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 116 2021年6月
Diamond microfabrication by imprinting with nickel mold under high temperature

T. Tabakoya, M. Nagai, K. Sakauchi, Y. Nakamura, K. Kobayashi, H. Kato, Y. Kato, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Makino …

Diamond and Related Materials 114 2021年4月
Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Yuta Nakano, Hitoshi Noguchi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Carbon 175 615-619 2021年4月
Energy distribution of Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro …

Carbon 168 659-664 2020年10月30日
Energy distribution of Al2O3/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro …

CARBON 168 659-664 2020年10月

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MISC

原子レベルで平坦な酸化膜/ダイヤモンド(111)界面をもつ反転層チャネルMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 41(4) 34-36 2025年10月
成長・ドーピング・表面・界面制御を駆使したステップフリーダイヤモンドMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
原子的に平坦なAl₂O₃/ダイヤモンド(111)界面を持つp型反転層MOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
表面終端処理,酸化膜堆積の連続プロセスによるダイヤモンドMOSFETのヒステリシス低減

佐藤解, 市川公善, 林寛, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
ダイヤモンドMOSFETにおけるドリフト抵抗フリー構造の提案

松本翼, 佐藤解, 中村勇斗, ABOULAYE Traore, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
チャネル部追成長による反転層ダイヤモンドMOSFETのチャネル移動度改善

山河智哉, 松本翼, 猪熊孝夫, 山崎聡, ZHANG Xufang, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, NEBEL C.E., 徳田規夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
Inversion-type p-channel diamond MOSFET issues

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Journal of Materials Research 2021年
反転層チャネルダイヤモンドMOSFETの実証

松本翼, 加藤宙光, 小山和博, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
水素プラズマ処理導入によるダイヤモンド(111)MOS構造の界面準位密度低減とMOSFETのチャネル移動度向上

桜井海匡, 松本翼, 長井雅嗣, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
高温水素雰囲気下におけるニッケルインプリント技術を用いたダイヤモンド表面パターニング

莨谷平, 莨谷平, 坂内和斗, 長井雅嗣, 中村勇斗, 松本翼, 猪熊孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 加藤宙光 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
窒素ドープボディを用いた反転層ダイヤモンドMOSFETの特性

松本翼, 桜井海匡, 山河智哉, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
High-Rate Growth of Single-Crystalline Diamond (100) Films by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition with Tantalum Filaments at 3000 °C

Taira Tabakoya, Shohei Kanada, Yusuke Wakui, Yue Takamori, Tatsuki Yamada, Masatsugu Nagai, Yoshiyasu Kojima, Osamu Ariyada, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science 216(21) 2019年1月1日
依頼講演反転層チャネルダイヤモンドMOSFET : ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成 (シリコン材料・デバイス)

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(110) 19-22 2018年6月25日
反転層チャネルダイヤモンドMOSFET~ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成~

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 118(110(SDM2018 16-26)) 2018年
ダイヤモンドMOSFETにおける電界効果移動度の不純物濃度依存

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 山崎聡, 徳田規夫, 徳田規夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年
窒素ドープダイヤモンド膜を用いたショットキーpnダイオード

小松原健人, 向瀬貴樹, 叶田翔平, 寺地徳之, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
窒素ドープn層/低抵抗p⁺-ダイヤモンド(100)CVD自立基板を用いたショットキーpnダイオード

吉田稜, 山本貴大, 長井雅嗣, 松本翼, 松本翼, 寺地徳之, 有屋田修, 加藤宙光, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
熱フィラメントCVD法を用いたダイヤモンド(111)膜の成長モード

叶田翔平, 涌井勇介, 松本翼, 有屋田修, 牧野俊晴, 小倉政彦, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
ダイヤモンドMOSFETにおける反転層確認とFET動作実証

松本翼, 松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 山崎聡

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
球型共振器構造MPCVDを用いた高濃度ホウ素ドープダイヤモンド(100)膜の高速成長

山本貴大, 金田大輝, 松本翼, 有屋田修, 小倉政彦, 加藤宙光, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年

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主要な所属学協会

応用物理学会

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共同研究・競争的資金等の研究課題

ダイヤモンドＭＯＳデバイス開発のための界面電子輸送解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2023年4月 - 2026年3月

猪熊孝夫
表面終端ダイヤモンドにおけるキャリア輸送特性解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2017年4月 - 2021年3月

猪熊孝夫
シリコンナノ結晶分散薄膜を用いた微小球光共振器の作製と光学特性解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2005年 - 2006年

猪熊孝夫
Siナノ結晶分散薄膜を活性媒質として用いたフォトニック結晶の光学的特性

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2001年 - 2002年

猪熊孝夫, 長谷川誠一
周期的構造変調層を形成したSiナノ結晶分散薄膜の電気的・光学的性質

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 1999年 - 2000年

猪熊孝夫, 長谷川誠一
エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1997年 - 1999年

長谷川誠一, 猪熊孝夫
光周波数掃引法による光回路素子の非破壊的内部診断・特性評価システムの構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 1996年 - 1997年

飯山宏一, 猪熊孝夫
Si超微粒子分散薄膜を用いた電界発光素子の作製と基本特性評価

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1996年 - 1996年

猪熊孝夫
半導体ナノ構造の物性解析と応用

経常研究 1996年
Characterization and application of semiconductor nanostructures

Ordinary Research 1996年
電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(C) 1993年 - 1994年

長谷川誠一, 猪熊孝夫

猪熊孝夫

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