猪熊孝夫 (Takao Inokuma) - マイポータル

基本情報

所属: 金沢大学理工研究域電子情報通信学系教授

学位: 工学博士(筑波大学)

J-GLOBAL ID: 200901092423793902
researchmap会員ID: 1000020373

研究キーワード

研究分野

経歴

1999年 - 2001年

: 金沢大学准教授
1999年 - 2001年

: Kanazawa University
2001年

-: 金沢大学准教授
2001年

-: Kanazawa University
1996年 - 1999年

: 金沢大学講師
1996年 - 1999年

: Kanazawa University
1995年 - 1996年

: 金沢大学助手
1995年 - 1996年

: Kanazawa University
1992年 - 1995年

: 金沢大学助手
1992年 - 1995年

: Kanazawa University
1991年 - 1992年

: 金沢大学助手
1991年 - 1992年

: Kanazawa University

学歴

論文

Selectively buried growth of heavily B doped diamond layers with step-free surfaces in N doped diamond (1 1 1) by homoepitaxial lateral growth

Kazuki Kobayashi, Xufang Zhang, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

Applied Surface Science 593 2022年8月15日
Impact of nitrogen doping on homoepitaxial diamond (111) growth

Yuta Nakano, Xufang Zhang, Kazuki Kobayashi, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 125 2022年5月
Insight into temperature impact of Ta filaments on high-growth-rate diamond (100) films by hot-filament chemical vapor deposition

Yue Takamori, Masatsugu Nagai, Taira Tabakoya, Yuto Nakamura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 118 2021年10月
Mechanical damage-free surface planarization of single-crystal diamond based on carbon solid solution into nickel

Kazuto Sakauchi, Masatsugu Nagai, Taira Tabakoya, Yuto Nakamura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 116 2021年6月
Diamond microfabrication by imprinting with nickel mold under high temperature

T. Tabakoya, M. Nagai, K. Sakauchi, Y. Nakamura, K. Kobayashi, H. Kato, Y. Kato, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Makino …

Diamond and Related Materials 114 2021年4月
Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Yuta Nakano, Hitoshi Noguchi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Carbon 175 615-619 2021年4月
Energy distribution of Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro …

Carbon 168 659-664 2020年10月30日
Energy distribution of Al2O3/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro …

CARBON 168 659-664 2020年10月
Insight into Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/B-doped diamond interface states with high-temperature conductance method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Mitsuru Sometani, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Applied Physics Letters 117(9) 2020年8月31日
Insight into Al2O3/B-doped diamond interface states with high-temperature conductance method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Mitsuru Sometani, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, Norio Tokuda

APPLIED PHYSICS LETTERS 117(9) 2020年8月
Formation of U-shaped diamond trenches with vertical {111} sidewalls by anisotropic etching of diamond (110) surfaces

M. Nagai, Y. Nakamura, T. Yamada, T. Tabakoya, T. Matsumoto, T. Inokuma, C. E. Nebel, T. Makino, S. Yamasaki, N. Tokuda

Diamond and Related Materials 103 2020年3月
Inversion channel mobility and interface state density of diamond MOSFET using N-type body with various phosphorus concentrations

Tsubasa Matsumoto, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Applied Physics Letters 114(24) 2019年6月17日
Conductive-probe atomic force microscopy and Kelvin-probe force microscopy characterization of OH-terminated diamond (111) surfaces with step-terrace structures

Masatsugu Nagai, Ryo Yoshida, Tatsuki Yamada, Taira Tabakoya, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Japanese Journal of Applied Physics 58(SI) 2019年
Anisotropic diamond etching through thermochemical reaction between Ni and diamond in high-Temperature water vapour

Masatsugu Nagai, Kazuhiro Nakanishi, Hiraku Takahashi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Satoshi Yamasaki, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda, Norio Tokuda

Scientific Reports 8(1) 2018年12月1日
Formation of atomically flat hydroxyl-terminated diamond (1 1 1) surfaces via water vapor annealing

Ryo Yoshida, Daisuke Miyata, Toshiharu Makino, Satoshi Yamasaki, Tsubasa Matsumoto, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda, Norio Tokuda

Applied Surface Science 458 222-225 2018年11月15日
Direct observation of inversion capacitance in p-type diamond MOS capacitors with an electron injection layer

Tsubasa Matsumoto, Tsubasa Matsumoto, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Masataka Imura, Akihiro Ueda, Takao Inokuma …

Japanese Journal of Applied Physics 57(4) 2018年4月1日
Mechanism of anisotropic etching on diamond (111) surfaces by a hydrogen plasma treatment

Hiroki Kuroshima, Toshiharu Makino, Satoshi Yamasaki, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

APPLIED SURFACE SCIENCE 422 452-455 2017年11月
Self-separation of freestanding diamond films using graphite interlayers precipitated from C-dissolved Ni substrates

Shinya Ito, Masatsugu Nagai, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Norio Tokuda

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 470 104-107 2017年7月
Diamond Schottky-pn diode using lightly nitrogen-doped layer

Tsubasa Matsumoto, Takaki Mukose, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Norio Tokuda

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 75 152-154 2017年5月
Fabrication of graphene on atomically flat diamond (111) surfaces using nickel as a catalyst

Shohei Kanada, Masatsugu Nagai, Shinya Ito, Tsubasa Matsumoto, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Norio Tokuda

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 75 105-109 2017年5月

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MISC

111

Inversion-type p-channel diamond MOSFET issues

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Takao Inokuma, Norio Tokuda

Journal of Materials Research 2021年
反転層チャネルダイヤモンドMOSFETの実証

松本翼, 加藤宙光, 小山和博, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
水素プラズマ処理導入によるダイヤモンド(111)MOS構造の界面準位密度低減とMOSFETのチャネル移動度向上

桜井海匡, 松本翼, 長井雅嗣, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
高温水素雰囲気下におけるニッケルインプリント技術を用いたダイヤモンド表面パターニング

莨谷平, 莨谷平, 坂内和斗, 長井雅嗣, 中村勇斗, 松本翼, 猪熊孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 加藤宙光 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
窒素ドープボディを用いた反転層ダイヤモンドMOSFETの特性

松本翼, 桜井海匡, 山河智哉, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 山崎聡, 猪熊孝夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
High-Rate Growth of Single-Crystalline Diamond (100) Films by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition with Tantalum Filaments at 3000 °C

Taira Tabakoya, Shohei Kanada, Yusuke Wakui, Yue Takamori, Tatsuki Yamada, Masatsugu Nagai, Yoshiyasu Kojima, Osamu Ariyada, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science 216(21) 2019年1月1日
依頼講演反転層チャネルダイヤモンドMOSFET : ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成 (シリコン材料・デバイス)

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(110) 19-22 2018年6月25日
反転層チャネルダイヤモンドMOSFET~ウェットアニール処理による高品質ダイヤモンドMOS界面の形成~

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫

電子情報通信学会技術研究報告 118(110(SDM2018 16-26)) 2018年
ダイヤモンドMOSFETにおける電界効果移動度の不純物濃度依存

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 山崎聡, 徳田規夫, 徳田規夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年
窒素ドープダイヤモンド膜を用いたショットキーpnダイオード

小松原健人, 向瀬貴樹, 叶田翔平, 寺地徳之, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
窒素ドープn層/低抵抗p⁺-ダイヤモンド(100)CVD自立基板を用いたショットキーpnダイオード

吉田稜, 山本貴大, 長井雅嗣, 松本翼, 松本翼, 寺地徳之, 有屋田修, 加藤宙光, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
熱フィラメントCVD法を用いたダイヤモンド(111)膜の成長モード

叶田翔平, 涌井勇介, 松本翼, 有屋田修, 牧野俊晴, 小倉政彦, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
ダイヤモンドMOSFETにおける反転層確認とFET動作実証

松本翼, 松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 山崎聡

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
球型共振器構造MPCVDを用いた高濃度ホウ素ドープダイヤモンド(100)膜の高速成長

山本貴大, 金田大輝, 松本翼, 有屋田修, 小倉政彦, 加藤宙光, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年
ニッケル中固溶炭素の析出を用いた自然剥離自立ダイヤモンド膜作製

伊藤槙哉, 叶田翔平, 松本翼, 松本翼, 徳田規夫, 徳田規夫, 加藤宙光, 牧野俊晴, 小倉政彦, 竹内大輔 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年
ニッケル触媒を利用した原子的平坦ダイヤモンド(111)面上グラフェンの作製

叶田翔平, 長井雅嗣, 中西一浩, 伊藤槙哉, 松本翼, 小倉政彦, 竹内大輔, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫

ナノ学会大会講演予稿集 14th 2016年
ポストウェットアニールによるp型(111)ダイヤモンドへのオーミック接触の形成

南山拓真, 宮田大輔, 長南幸直, 徳田規夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 小倉政彦, 小倉政彦, 竹内大輔, 竹内大輔 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
ウェットアニールダイヤモンド(111)上ALD-Al₂O₃膜を用いたMOSキャパシタの電気的特性

上田諒浩, 宮田大輔, 徳田規夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 井村将隆, 小出康夫, 小倉政彦, 小倉政彦, 山崎聡 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
ポストウェットアニール処理を用いたダイヤモンドMESFETの作製

中西一浩, 南山拓真, 宮田大輔, 辻裕司, 徳田規夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 小倉政彦, 小倉政彦, 山崎聡 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
球型共振器構造MPCVDを用いたホウ素ドープダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

金田大輝, 渡邊俊介, 徳田規夫, 徳田規夫, 徳田規夫, 小倉政彦, 小倉政彦, 加藤宙光, 加藤宙光, 梅沢仁 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年

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主要な所属学協会

応用物理学会

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共同研究・競争的資金等の研究課題

表面終端ダイヤモンドにおけるキャリア輸送特性解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2017年4月 - 2021年3月

猪熊孝夫
シリコンナノ結晶分散薄膜を用いた微小球光共振器の作製と光学特性解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2005年 - 2006年

猪熊孝夫
Siナノ結晶分散薄膜を活性媒質として用いたフォトニック結晶の光学的特性

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2001年 - 2002年

猪熊孝夫, 長谷川誠一
周期的構造変調層を形成したSiナノ結晶分散薄膜の電気的・光学的性質

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 1999年 - 2000年

猪熊孝夫, 長谷川誠一
エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1997年 - 1999年

長谷川誠一, 猪熊孝夫
光周波数掃引法による光回路素子の非破壊的内部診断・特性評価システムの構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 1996年 - 1997年

飯山宏一, 猪熊孝夫
Si超微粒子分散薄膜を用いた電界発光素子の作製と基本特性評価

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1996年 - 1996年

猪熊孝夫
半導体ナノ構造の物性解析と応用

経常研究 1996年
Characterization and application of semiconductor nanostructures

Ordinary Research 1996年
電荷移動モデルによるプラズマCVD窒化(酸化)Si膜の微視的結合構造変化の解析

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(C) 1993年 - 1994年

長谷川誠一, 猪熊孝夫