三谷祐一郎 (YUICHIRO MITANI) - マイポータル

基本情報

所属: 東京都市大学理工学部電気電子通信工学科教授

研究者番号: 60732641
J-GLOBAL ID: 202001000577309082

研究キーワード

研究分野

経歴

2020年4月 - 現在

東京都市大学理工学部電気電子通信工学科教授
2019年10月 - 2020年3月

キオクシア株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部グループ長
2019年4月 - 2019年9月

東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部グループ長
2017年10月 - 2019年3月

東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部主幹
2012年7月 - 2017年9月

株式会社東芝研究開発センターＬＳＩ基盤技術ラボラトリ研究主幹

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学歴

委員歴

2020年6月 - 現在

IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Semiconductor Devices sub-committee
2015年10月 - 現在

IEEE International Integrated Reliability Workshop (IIRW) Subcommittee member
2009年5月 - 現在

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Reliability Session Chair
2010年1月 - 2017年1月

応用物理学会協賛ゲートスタック研究会実行・プログラム委員
2014年4月 - 2015年4月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Transistor Reliability Physics Subcommittee

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受賞

2017年11月

2017 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES – SCIENCE AND TECHNOLOGY – Young Award Experimental Evidence of Trap Level Modulation in SiN Thin Film by Hydrogen Annealing

H. Seki, Y. Kamimuta, Y. Mitani
2017年4月

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) 功績賞

三谷祐一郎

論文

110

Dramatic Improvement of Vfb Shift and Gmmax with Ultra-thin and Ultra-low-leakage SiN-based SiON Gate Dielectrics

Kouichi Muraoka, D. Matsushita, Y. Nakasaki, K. Kato, S. Kikuchi, K. Sakuma, Y. Mitani, K. Eguchi, Mariko Takayanagi

ECS Transactions 6(3) 313 - 327 2019年12月19日査読有り
Impact of Deuterium and Fluorine Incorporation on Weibull Distribution of Dielectric Breakdown in Gate Dielectrics

Yuichiro Mitani, Hideki Satake, Akira Toriumi

ECS Transactions 19(2) 227 - 242 2019年12月18日査読有り招待有り
(Invited) A Study of Dielectric Breakdown Mechanisms in MG/HK MISFETs: From the Viewpoint of TDDB Statistics

Izumi Hirano, Koichi Kato, Yasushi Nakasaki, Shigeto Fukatsu, Motoyuki Sato, Seiji Inumiya, Masakazu Goto, Katsuyuki Sekine, Yuichiro Mitani

ECS Transactions 33(3) 507 - 519 2019年12月17日査読有り招待有り
Metal-Assisted Solid-Phase Crystallization Process for Vertical Monocrystalline Si Channel in 3D Flash Memory

Hidenori Miyagawa, Makoto Fujiwara, Yuichiro Mitani, Tomoyuki Obu, Hideaki Aochi, Haruka Kusai, Riichiro Takaishi, Tomoya Kawai, Yuuichi Kamimuta, Toshiya Murakami, Keiko Ariyoshi, Takanori Asano, Masakazu Goto

Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 2019-December 2019年12月査読有り
Investigation of Switching-Induced Local Defects in Oxide-Based CBRAM Using Expanded Analytical Model of TDDB

Reika Ichihara, Shosuke Fujii, Marina Yamaguchi, Yoko Yoshimura, Yuichiro Mitani, Masumi Saitoh

IEEE Transactions on Electron Devices 66(5) 2165 - 2171 2019年5月査読有り

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MISC

ディープラーニングハードウェアの低消費電力化に寄与する学習時メモリーエラー解析手法

丸亀孝生, 西義文, 三谷祐一郎

東芝レビュー 72(2) 38 - 39 2017年
PUFによる個体認証セキュリティ技術へのランダムテレグラフノイズの適用

陳ジィエジィ, 棚本哲史, 三谷祐一郎

東芝レビュー 71(2) 23 - 26 2016年
微細電界効果トランジスタにおけるランダムテレグラフノイズを引き起こす欠陥機構の解明

陳ジィエジィ, 平野泉, 三谷祐一郎

東芝レビュー 68(8) 27 - 30 2013年
次世代LSIに向けたメタルゲート電極/高誘電率ゲート絶縁膜の高信頼化技術

深津茂人, 平野泉, 三谷祐一郎

東芝レビュー 65(7) 28 - 32 2010年
重水素による極薄ゲート酸化膜の高信頼化実証と信頼性向上機構の解明

三谷祐一郎, 佐竹秀喜

東芝レビュー 57(11) 31 - 34 2002年

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書籍等出版物

薄膜作製応用ハンドブック

権田, 俊一, 酒井, 忠司, 田畑, 仁, 八瀬, 清志, 宮崎, 照宣(担当:分担執筆, 範囲:第4編薄膜技術の応用と展望第1章電子デバイス第1節 LSI 5. 3 次元フラッシュメモリ用薄膜)

エヌ・ティー・エス 2020年2月 (ISBN: 9784860436315)

講演・口頭発表等

Siデバイスにおける絶縁膜信頼性と水素

三谷祐一郎, 関晴海, 中崎靖

第80回応用物理学会秋季学術講演会シンポジウム「酸化物中の水素とその役割」 2019年9月20日招待有り
3Dフラッシュメモリセルの信頼性とその課題

三谷祐一郎, 関晴海, 浅野孝典, 中崎靖

電気通信情報学会信頼性研究会 2019年8月22日招待有り
3D Flash Memory - Electrical and Physical Characterizations for Memory Cell Reliability

Y. Mitani

32nd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) 2019年3月18日招待有り
共鳴核反応法を用いた水素起因ゲート絶縁膜劣化の観測

三谷祐一郎, 東悠介, 高石理一郎, 鈴木正道, 中崎靖, 冨田充裕, 松本益明, 加藤弘一, 小倉正平, 福谷克之

第207回回応用物理学会分科会シリコンテクノロジー 2018年5月25日招待有り
Re-Investigation of Hydrogen Related Defect Generation in Gate Dielectric Interface and Bulk

Y. Mitani

IEEE International Integrated Reliability Workshop 2014年10月13日招待有り

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担当経験のある科目(授業)

2020年4月 - 現在

電気磁気学(1)演習 (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

ナノエレクトロニクス特論 (東京都市大学)

所属学協会

2018年1月 - 現在

IEEE
1995年2月 - 現在

応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

趙微粒子制御クリーニング基礎技術

技術研究組合超先端電子技術開発機構

三谷祐一郎, 佐竹秀喜, 伊藤仁, 鳥海明

産業財産権

US9983818 Individual identification device, storage device, individual identification system, method of individual identification, and program product

Chen Jiezhi, Mitani Yuichiro, Tanamoto Tetsufumi, Takao Marukame
特許6290057 復号装置、復号方法およびメモリシステム

西義史, 丸亀孝生, 三谷祐一郎
特許6282535 メモリシステムおよび制御方法

陳ジィエジィ, 三谷祐一郎
特許6239471 認証システム、認証装置および認証方法

棚本哲史, 丸亀孝生, 安田心一, 三谷祐一郎, 藤田忍
US9794073 Information processing system and semiconductor device

Chen Jiezhi, Tanamoto Tetsufumi, Mitani Yuichiro

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学術貢献活動

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) General Chair

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2016年5月 - 2017年5月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Conference Chair

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2015年5月 - 2016年5月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Treasurer

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2014年5月 - 2015年5月
IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) - Workshop Moderator

パネル司会・セッションチェア等

IEEE 2014年6月 - 2014年6月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Secretary

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2013年5月 - 2014年5月

社会貢献活動

IEEE EDS Japan Joint Chapter Secretary

運営参加・支援, その他

IEEE EDS 2018年1月 - 2020年1月

三谷祐一郎

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

学術貢献活動

社会貢献活動

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