三谷祐一郎 (YUICHIRO MITANI) - マイポータル

基本情報

所属: 東京都市大学理工学部電気電子通信工学科教授

研究者番号: 60732641
J-GLOBAL ID: 202001000577309082
researchmap会員ID: R000006376

研究キーワード

研究分野

経歴

2020年4月 - 現在

東京都市大学理工学部電気電子通信工学科教授
2019年10月 - 2020年3月

キオクシア株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部グループ長
2019年4月 - 2019年9月

東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部グループ長
2017年10月 - 2019年3月

東芝メモリ株式会社メモリ技術研究所、デバイス技術センター新規メモリ開発部主幹
2012年7月 - 2017年9月

株式会社東芝研究開発センターＬＳＩ基盤技術ラボラトリ研究主幹
2006年7月 - 2012年6月

株式会社東芝研究開発センターＬＳＩ基盤技術ラボラトリ主任研究員
1999年4月 - 2006年6月

株式会社東芝研究開発センターＬＳＩ基盤技術ラボラトリ研究主務
1997年4月 - 1999年3月

株式会社東芝先端半導体デバイス研究所研究開発グループ（研究第二担当）
1995年4月 - 1997年3月

株式会社東芝ＵＬＳＩ研究所研究開発グループ（研究第四担当）
1992年4月 - 1995年3月

株式会社東芝 ULSI研究所

学歴

委員歴

2021年4月 - 現在

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Memory Reliability Technical Committee vice-chair
2020年10月 - 現在

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Memory Reliability Technical Committee member
2020年6月 - 現在

IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Semiconductor Devices sub-committee
2020年4月 - 現在

International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC) Nanodevices Technical Committee member
2015年10月 - 現在

IEEE International Integrated Reliability Workshop (IIRW) Subcommittee member
2009年5月 - 現在

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Reliability Session Chair
2010年1月 - 2017年1月

応用物理学会協賛ゲートスタック研究会実行・プログラム委員
2014年4月 - 2015年4月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Transistor Reliability Physics Subcommittee
2014年1月 - 2015年1月

応用物理学会協賛ゲートスタック研究会プログラム委員長
2014年1月 - 2015年1月

応用物理学会協賛電子デバイス界面テクノロジー研究会実行委員長
2013年6月 - 2014年12月

IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) CMOS Reliability and Yield subcommittee member
2012年5月 - 2013年5月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Gate Dielectrics Subcommittee
2010年5月 - 2011年5月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Gate Dielectrics Subcommittee Chair
2008年4月 - 2010年4月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Device Dielectric Breakdown Subcommittee
2007年5月 - 2008年5月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Dielectrics Subcommittee
2005年5月 - 2008年5月

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Ultra-thin gate dielectric reliability subcommittee member
2004年9月 - 2008年3月

応用物理学会協賛ゲートスタック研究会半導体Aプログラム編集委員
2004年9月 - 2007年1月

応用物理学会半導体A企画運営委員兼プログラム編集委員長
2004年5月 - 2005年5月

IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) Si Transistor Subcommittee

受賞

2017年11月

Young Award Experimental Evidence of Trap Level Modulation in SiN Thin Film by Hydrogen Annealing 2017 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES – SCIENCE AND TECHNOLOGY –

H. Seki, Y. Kamimuta, Y. Mitani
2017年4月

功績賞 IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT)

三谷祐一郎

論文

110

Dramatic Improvement of Vfb Shift and Gmmax with Ultra-thin and Ultra-low-leakage SiN-based SiON Gate Dielectrics

Kouichi Muraoka, D. Matsushita, Y. Nakasaki, K. Kato, S. Kikuchi, K. Sakuma, Y. Mitani, K. Eguchi, Mariko Takayanagi

ECS Transactions 6(3) 313-327 2019年12月19日査読有り責任著者
Impact of Deuterium and Fluorine Incorporation on Weibull Distribution of Dielectric Breakdown in Gate Dielectrics

Yuichiro Mitani, Hideki Satake, Akira Toriumi

ECS Transactions 19(2) 227-242 2019年12月18日査読有り招待有り筆頭著者
(Invited) A Study of Dielectric Breakdown Mechanisms in MG/HK MISFETs: From the Viewpoint of TDDB Statistics

Izumi Hirano, Koichi Kato, Yasushi Nakasaki, Shigeto Fukatsu, Motoyuki Sato, Seiji Inumiya, Masakazu Goto, Katsuyuki Sekine, Yuichiro Mitani

ECS Transactions 33(3) 507-519 2019年12月17日査読有り招待有り最終著者責任著者
Metal-Assisted Solid-Phase Crystallization Process for Vertical Monocrystalline Si Channel in 3D Flash Memory

Hidenori Miyagawa, Makoto Fujiwara, Yuichiro Mitani, Tomoyuki Obu, Hideaki Aochi, Haruka Kusai, Riichiro Takaishi, Tomoya Kawai, Yuuichi Kamimuta, Toshiya Murakami, Keiko Ariyoshi, Takanori Asano, Masakazu Goto

Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 2019-December 2019年12月査読有り
Investigation of Switching-Induced Local Defects in Oxide-Based CBRAM Using Expanded Analytical Model of TDDB

Reika Ichihara, Shosuke Fujii, Marina Yamaguchi, Yoko Yoshimura, Yuichiro Mitani, Masumi Saitoh

IEEE Transactions on Electron Devices 66(5) 2165-2171 2019年5月査読有り責任著者
Evaluation of electron traps in SiNx by discharge current transient spectroscopy: verification of validity by comparing with conventional DLTS

Harumi Seki, Kazuhiko Yamamoto, Yuichiro Mitani

Japanese Journal of Applied Physics 58(SB) SBBK02-SBBK02 2019年4月1日査読有り最終著者
Random Telegraph Noise after Hot Carrier Injection in Tri-gate Nanowire Transistor

Kensuke Ota, Reika Ichihara, Masamichi Suzuki, Masumi Saitoh, Yuichiro Mitani

2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference, EDTM 2019 169-171 2019年3月査読有り
Experimental evidence of trap level modulation in silicon nitride thin films by hydrogen annealing

Harumi Seki, Yuuichi Kamimuta, Yuichiro Mitani

Japanese Journal of Applied Physics 57(6) 06KB04-06KB04 2018年6月1日査読有り最終著者
Study on mechanism of thermal curing in ultra-thin gate dielectrics

Yuichiro Mitani, Yusuke Higashi, Yasushi Nakasaki

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings 2018-March 3A.41-3A.48 2018年5月25日査読有り
Experimental Evidence of Trap Level Modulation in SiN Thin Film by Hydrogen Anneal-ing

H. Seki, Y. Kamimuta, Y. Mitani

2017 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY 128-129 2017年11月査読有り最終著者責任著者
Physically unclonable function using initial waveform of ring oscillators on 65nm CMOS technology

Tetsufumi Tanamoto, Satoshi Takaya, Nobuaki Sakamoto, Hirotsugu Kasho, Shinichi Yasuda, Takao Marukame, Shinobu Fujita, Yuichiro Mitani

Japanese Journal of Applied Physics 56(4) 04CF13-04CF13 2017年4月1日査読有り責任著者
Error Tolerance Analysis of Deep Learning Hardware Using a Restricted Boltzmann Machine Toward Low-Power Memory Implementation

Takao Marukame, Kodai Ueyoshi, Tetsuya Asai, Masato Motomura, Alexandre Schmid, Masamichi Suzuki, Yusuke Higashi, Yuichiro Mitani

IEEE Transactions on Circuits and Systems II: Express Briefs 64(4) 462-466 2017年4月1日査読有り責任著者
Mechanism of gate dielectric degradation by hydrogen migration from the cathode interface

Yusuke Higashi, Riichiro Takaishi, Koichi Kato, Masamichi Suzuki, Yasushi Nakasaki, Mitsuhiro Tomita, Yuichiro Mitani, Masuaki Matsumoto, Shohei Ogura, Katsuyuki Fukutani, Kikuo Yamabe

Microelectronics Reliability 70 12-21 2017年3月1日査読有り最終著者責任著者
Dynamical observation of H-induced gate dielectric degradation through improved nuclear reaction analysis system

Yusuke Higashi, Riichiro Takaishi, Masamichi Suzuki, Yasushi Nakasaki, Mitsuhiro Tomita, Yuichiro Mitani, Masuaki Matsumoto, Koichi Kato, Shohei Ogura, Katsuyuki Fukutani

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings 2016-September 7B21-7B27 2016年9月22日査読有り
Impact of trap creation at SiO<inf>2</inf>/Poly-Si interface on ultra-thin SiO<inf>2</inf> reliability

Y. Mitani, M. Suzuki, Y. Higashi, R. Takaishi

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings 2016-September DI21-DI25 2016年9月22日査読有り
Deep insight into process-induced pre-existing traps and PBTI stress-induced trap generations in high-k gate dielectrics through systematic RTN characterizations and ab initio calculations

Jiezhi Chen, Yasushi Nakasaki, Yuichiro Mitani

Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology 2016-September 2016年9月21日査読有り
Physically Unclonable Function using Initial Waveform of Ring Oscillators on 65nm CMOS Technology

T. Tanamoto, S. Takaya, N. Sakamoto, H. Kasho, S. Yasuda, T. Marukame, S. Fujita, Y. Mitani

Extended Abstracts of the 2016 International Conference on Solid State Devices and Materials 417-418 2016年9月査読有り責任著者
Further understandings on impacts of la incorporation in HfSiON/TiN nFETs through comprehensive random telegraph noise characterizations

Jiezhi Chen, Yuichiro Mitani

IEEE International Integrated Reliability Workshop Final Report 2016-March 29-33 2016年3月18日査読有り
Further investigations on traps stabilities in random telegraph signal noise and the application to a novel concept physical unclonable function (PUF) with robust reliabilities

Jiezhi Chen, Tetsufumi Tanamoto, Hiroki Noguchi, Yuichiro Mitani

Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology 2015-August T40-T41 2015年8月25日査読有り
Simple technique for prediction of breakdown voltage of ultrathin gate insulator under ESD testing

Yuichiro Mitani, Kazuya Matsuzawa

2015 International Conference on IC Design and Technology, ICICDT 2015 2015年7月23日査読有り

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MISC

ディープラーニングハードウェアの低消費電力化に寄与する学習時メモリーエラー解析手法

丸亀孝生, 西義文, 三谷祐一郎

東芝レビュー 72(2) 38-39 2017年責任著者
PUFによる個体認証セキュリティ技術へのランダムテレグラフノイズの適用

陳ジィエジィ, 棚本哲史, 三谷祐一郎

東芝レビュー 71(2) 23-26 2016年最終著者
微細電界効果トランジスタにおけるランダムテレグラフノイズを引き起こす欠陥機構の解明

陳ジィエジィ, 平野泉, 三谷祐一郎

東芝レビュー 68(8) 27-30 2013年最終著者
次世代LSIに向けたメタルゲート電極/高誘電率ゲート絶縁膜の高信頼化技術

深津茂人, 平野泉, 三谷祐一郎

東芝レビュー 65(7) 28-32 2010年最終著者
重水素による極薄ゲート酸化膜の高信頼化実証と信頼性向上機構の解明

三谷祐一郎, 佐竹秀喜

東芝レビュー 57(11) 31-34 2002年筆頭著者
極薄ゲート酸化膜絶縁破壊機構の解明と新高信頼化成膜プロセスの提案

佐竹秀喜, 三谷祐一郎

東芝レビュー 55(10) 58-61 2000年最終著者

書籍等出版物

薄膜作製応用ハンドブック

権田, 俊一, 酒井, 忠司, 田畑, 仁, 八瀬, 清志, 宮崎, 照宣 (担当:分担執筆, 範囲:第4編薄膜技術の応用と展望第1章電子デバイス第1節 LSI 5. 3 次元フラッシュメモリ用薄膜)

エヌ・ティー・エス 2020年2月 (ISBN: 9784860436315)

講演・口頭発表等

シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の信頼性に及ぼすフッ素の影響の相違

三谷祐一郎

電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会（SDM） 2021年10月21日招待有り
Re-Consideration of Influence of Fluorine on SiO2 and SixNy Reliabilities

Yuichiro Mitani

The 2021 IEEE Electron Devices Technology and. Manufacturing (EDTM) Conference 2021年4月11日招待有り
大容量化に向けた三次元フラッシュメモリセル技術

三谷祐一郎

第48回薄膜・表面物理セミナー「ニューロデバイスに向けた最新メモリデバイス・薄膜材料技術」 2020年7月10日招待有り
Siデバイスにおける絶縁膜信頼性と水素

三谷祐一郎, 関晴海, 中崎靖

第80回応用物理学会秋季学術講演会シンポジウム「酸化物中の水素とその役割」 2019年9月20日招待有り
3Dフラッシュメモリセルの信頼性とその課題

三谷祐一郎, 関晴海, 浅野孝典, 中崎靖

電気通信情報学会信頼性研究会 2019年8月22日招待有り
3D Flash Memory - Electrical and Physical Characterizations for Memory Cell Reliability

Y. Mitani

32nd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS) 2019年3月18日招待有り
共鳴核反応法を用いた水素起因ゲート絶縁膜劣化の観測

三谷祐一郎, 東悠介, 高石理一郎, 鈴木正道, 中崎靖, 冨田充裕, 松本益明, 加藤弘一, 小倉正平, 福谷克之

第207回回応用物理学会分科会シリコンテクノロジー 2018年5月25日招待有り
Re-Investigation of Hydrogen Related Defect Generation in Gate Dielectric Interface and Bulk

Y. Mitani

IEEE International Integrated Reliability Workshop 2014年10月13日招待有り
19a-A17-5 La シリケート/Si接合の熱的不安定性と膜中欠陥

中崎靖, 諸田美砂子, 高島章, 加藤弘一, 三谷祐一郎

第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014年9月19日
18a-A16-10 ランダム・テレグラム・ノイズにおける欠陥時定数ばらつきに関する物理機構の考察

陳杰智, 東悠介, 加藤弘一, 三谷祐一郎

第75回応用物理学会秋季学術講演会 2014年9月18日
20p-E14-1 不純物・欠陥によるS原子ペアーのショットキー障壁変調への影響

加藤弘一, 丸亀孝生, 西義史, 三谷祐一郎

第61 回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月20日
20a-E14-10 NiSi/Siショットキー障壁を変調する硫黄不純物の電子状態解析

丸亀孝生, 吉木昌彦, 西義史, 加藤弘一, 三谷祐一郎

第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月20日
20p-F12-4 nMOSFETsにおけるランダム・テレグラフ・ノイズに寄与する欠陥の時定数および電流振動の面方位依存性の検討

陳杰智, 平野泉, 三谷祐一郎

第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月20日
18a-D8-4 共鳴核反応法を用いた水素分布測定および水素による絶縁膜劣化機構の詳細解析

東悠介, 高石理一郎, 鈴木正道, 加藤弘一, 富田充裕, 三谷祐一郎, 松本益明, 小倉正平, 福谷克之

第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月18日
18a-D8-5 SiO2, Si3N4, Si 中の窒化種（NHx）の拡散と反応

中崎靖, 平野泉, 宮田正靖, 加藤弘一, 三谷祐一郎, 山下寛樹, 赤堀浩史

第61回応用物理学会春季学術講演会 2014年3月18日
20p-B4-1 S 原子ペアーがピニングでショットキー障壁を消滅させる機構

加藤弘一, 丸亀孝生, 西義史, 三谷祐一郎

第74回応用物理学会秋季学術講演会 2013年9月20日
19a-C8-4 pMOSFETsにおけるチャネルへの歪印加によるランダム・テレグラフ・ノイズ低減の検討

陳杰智, 東悠介, 平野泉, 三谷祐一郎

第74回応用物理学会秋季学術講演会 2013年9月19日
28p-G9-7 Siを金属化させるS原子ペアーの電子構造

加藤弘一, 丸亀孝生, 西義史, 三谷祐一郎

2013年3月28日
12a-F4-7 High-k絶縁膜中の欠陥成長 - 正孔注入によるHfSiO4中でのVOの分散と秩序化 –

中崎靖, 平野泉, 加藤弘一, 三谷祐一郎

第73回応用物理学会学術講演会 2012年9月12日
17p-A4-9 High-k絶縁膜中の欠陥成長 - 正孔注入によるHfSiO4中でのVO分散化 –

中崎靖, 平野泉, 加藤弘一, 三谷祐一郎

第59回応用物理学関係連合講演会 2012年3月17日

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担当経験のある科目(授業)

2021年4月 - 現在

電磁気学基礎演習 (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

SD-PBL(2) (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

SD-PBL(1) (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

電気磁気学(2)演習 (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

集積回路工学 (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

電気磁気学(1)演習 (東京都市大学)
2020年4月 - 現在

ナノエレクトロニクス特論 (東京都市大学)
2020年4月

先端デバイス特論 (東京都市大学)

所属学協会

2018年1月 - 現在

IEEE
1995年2月 - 現在

応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

趙微粒子制御クリーニング基礎技術

技術研究組合超先端電子技術開発機構 1999年 - 2000年

三谷祐一郎, 佐竹秀喜, 伊藤仁, 鳥海明

産業財産権

US9983818 Individual identification device, storage device, individual identification system, method of individual identification, and program product

Chen Jiezhi, Mitani Yuichiro, Tanamoto Tetsufumi, Takao Marukame
特許6290057 復号装置、復号方法およびメモリシステム

西義史, 丸亀孝生, 三谷祐一郎
特許6282535 メモリシステムおよび制御方法

陳ジィエジィ, 三谷祐一郎
特許6239471 認証システム、認証装置および認証方法

棚本哲史, 丸亀孝生, 安田心一, 三谷祐一郎, 藤田忍
US9794073 Information processing system and semiconductor device

Chen Jiezhi, Tanamoto Tetsufumi, Mitani Yuichiro
US9755064 Semiconductor device and method for manufacturing the same

Ohash Teruyuki, Mitani Yuichiro, Shimizu Tatsuo, Iijima Ryosuke
US9698236 Semiconductor device and method for manufacturing the same

Matsushita Daisuke, Mitani Yuichiro
US9672103 Decoding device, decoding method, and memory system

Nishi Yoshifumi, Marukame Takao, Mitani Yuichiro
特許6151203 演算制御装置、それを備えたメモリシステム、および、情報処理装置

陳ジィエジィ, 松澤一也, 丸亀孝生, 三谷祐一郎
US9665426 Semiconductor device and reading method

Chen Jiezhi, Takahashi Kuniharu, Nagashima Hiroyuki, Mitani Yuichiro, Matsudera Katsuki, Kanebako Kazunori
特許6129654 認証装置、認証方法およびプログラム

棚本哲史, 丸亀孝生, 安田心一, 三谷祐一郎, 新保淳, 岸達也
特許6129699 個体識別装置、記憶装置、個体識別システム、その方法、およびプログラム

陳ジィエジィ, 三谷祐一郎, 棚本哲史, 丸亀孝生
特許6121857 メモリシステムおよび制御方法

丸亀孝生, 松澤一也, 西義史, 陳ジィエジィ, 東悠介, 三谷祐一郎
特許6104676 メモリシステム、制御システムおよび寿命予測方法

陳ジィエジィ, 棚本哲史, 三谷祐一郎, 丸亀孝生
US9584149 Comparator, AD converter, and wireless communication device

Suzuki Masamichi, Mitani Yuichiro
US9570181 Memory system

Marukame Takao, Matsuzawa Kazuya, Nishi Yoshifumi, Chen Jiezhi, Higashi Yusuke, Mitani Yuichiro
特許6071524 不揮発性半導体記憶装置

平野泉, 三谷祐一郎, 宮田正靖, 中崎靖, 加藤弘一, 松下大介, 高島章, 諸田美砂子
US9530855 Semiconductor device with polycrystalline silicon film

Suzuki Masamichi, Higashi Yusuke, Takaishi Riichiro, Tomita Mitsuhiro, Sakuma Kiwamu, Mitani Yuichiro
特許6034183 半導体記憶装置

丸亀孝生, 栗田貴宏, 佐々木勇輝, 陳ジィエジィ, 東悠介, 三谷祐一郎
US9460316 Authentication device, authentication method, and computer program product

Tanamoto Tetsufumi, Marukame Takao, Yasuda Shinichi, Mitani Yuichiro, Shimbo Atsushi, Kishi Tatsuya

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学術貢献活動

IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) General Chair

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2016年5月 - 2017年5月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Conference Chair

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2015年5月 - 2016年5月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Treasurer

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2014年5月 - 2015年5月
IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS) - Workshop Moderator

パネル司会・セッションチェア等

IEEE 2014年6月 - 2014年6月
IEEE International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) Secretary

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等, 査読

IEEE 2013年5月 - 2014年5月

社会貢献活動

IEEE EDS Japan Joint Chapter Secretary

運営参加・支援, その他

IEEE EDS 2018年1月 - 2020年1月

三谷祐一郎

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

学術貢献活動

社会貢献活動

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