2020年2月
薄膜作製応用ハンドブック
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- 担当区分
- 分担執筆
- 担当範囲
- 第4編 薄膜技術の応用と展望 第1章 電子デバイス 第1節 LSI 5. 3 次元フラッシュメモリ用薄膜
- 出版者・発行元
- エヌ・ティー・エス
- 総ページ数
- 38, 6, 16, 1468, 21, 15p
- 担当ページ
- 記述言語
- 日本語
- 著書種別
- DOI
- ISBN
- 9784860436315
- リンク情報
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- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662
- ID情報
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- ISBN : 9784860436315
- CiNii Books ID : BB29670662