伊東聡 (So Ito) - マイポータル

基本情報

所属: 富山県立大学情報工学部知能ロボット工学科准教授

学位: 博士（工学）(静岡大学)

J-GLOBAL ID: 201201091885055418
researchmap会員ID: 7000000483

外部リンク: https://isd.pu-toyama.ac.jp/~ito/

研究キーワード

研究分野

経歴

2024年4月 - 現在

富山県立大学, 情報工学部知能ロボット工学科精密工学講座, 准教授
2017年4月 - 2024年3月

富山県立大学, 工学部知能ロボット工学科, 准教授
2011年10月 - 2017年3月

東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻ナノメカニクス講座精密ナノ計測学分野, 助教

委員歴

2024年4月 - 現在

公益社団法人精密工学会, 北陸信越支部商議員
2024年 - 現在

一般社団法人日本機械学会生産加工・工作機械部門, The 11th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, Organized session chair,
2018年3月 - 現在

公益社団法人精密工学会, メカノフォトニクス専門委員会委員
2018年3月 - 現在

公益社団法人精密工学会, 事業企画委員会委員
2017年7月 - 現在

International Society for Nanomanufacturing, Active member
2012年3月 - 現在

公益社団法人精密工学会, 知的ナノ計測専門委員会委員
2024年4月 - 2026年3月

公益社団法人精密工学会, 広報・情報部会委員
2023年 - 2025年3月

公益社団法人精密工学会, The 20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Organizing Committee
2023年4月 - 2024年3月

一般財団法人日本機械学会, 生産加工・工作機械部門第3企画委員会委員長
2022年4月 - 2024年3月

公益社団法人応用物理学会, 北陸・信越支部会計幹事
2021年4月 - 2023年3月

一般財団法人日本機械学会, 生産加工・工作機械部門第3企画委員会幹事
2020年3月 - 2023年3月

公益社団法人精密工学会, 会誌編集委員会
2021年 - 2023年

The Japan Society of Applied Physics (JSAP) Hokuriku-Shin’etsu Chapter, The 10th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023) Organizing Committee
2020年4月 - 2022年3月

公益社団法人応用物理学会北陸・信越支部, 会計幹事（副）
2019年 - 2021年

The Japan Society of Applied Physics (JSAP) Hokuriku-Shin’etsu Chapter, The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021) Organizing Committee, Student presentation award judging committee Vice chair
2018年4月 - 2020年3月

公益社団法人応用物理学会, 北陸・信越支部富山地区幹事
2018年4月 - 2020年3月

公益財団法人精密工学会, 北陸信越支部商議員
2018年4月 - 2019年4月

一般社団法人日本機械学会, 情報・知能・精密機器部門代議員
2018年4月 - 2019年3月

公益財団法人精密工学会, アフィリエイト委員長
2015年 - 2019年

公益財団法人精密工学会, 学生会員卒業研究発表講演会副実行委員長

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受賞

2024年6月

第45回工作機械技術振興賞・奨励賞, 公益財団法人工作機械技術振興財団

津田樹,伊東聡,神谷和秀,松本公久
2024年3月

第31回学生会員卒業研究発表講演会エクセレントプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会

犬飼大地,伊東聡,富岡剛大,松本公久,神谷和秀,
2023年11月

2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会

馬場浩史郎,神谷和秀,松本公久,伊東聡
2023年11月

2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会

富岡剛大, 伊東聡, 犬飼大地, 松本公久, 神谷和秀, 片岡智史
2023年11月

2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会

津田樹, 伊東聡, 松本公久, 神谷和秀
2023年11月

2023年度精密工学会北陸信越支部学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会

山岸巧, 伊東聡, 松本公久, 神谷和秀
2020年11月

公益財団法人精密工学会北陸信越支部学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益社団法人精密工学会北陸信越支部

山下大輔, 伊東聡, 神谷和秀, 松本公久
2018年12月

高柳研究奨励賞, 公益財団法人浜松電子工学奨励会

伊東聡
2018年11月

学術講演会ベストプレゼンテーション賞, 公益財団法人精密工学会北陸信越支部

堤大輔, 島由丞, 伊東聡, 神谷和秀, 松本公久, 川堰宣隆
2018年11月

奨励賞, 公益財団法人精密工学会北陸信越支部

伊東聡
2018年6月

第39次工作機械技術振興賞(論文賞), 公益社団法人工作機械技術振興財団

清水裕樹, 工藤幸利, 伊東聡, 陳遠流,高偉
2018年3月

精密工学会論文賞, 公益財団法人

清水裕樹, 工藤幸利, 陳遠流, 伊東聡,高偉
2017年3月

精密工学会研究奨励賞, 公益財団法人精密工学会

伊東聡
2016年6月

第39次工作機械技術振興賞(論文賞), 公益社団法人工作機械技術振興財団

清水裕樹, 工藤幸利, 伊東聡, 陳遠流,高偉
2016年4月

日本機械学会奨励賞(研究), 一般社団法人日本機械学会

伊東聡
2015年

第36次工作機械技術振興賞
2014年

ICPT2014 Young Researcher Award
2013年

日本機械学会生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰
2013年

日本機械学会生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰
2010年

2010年度精密工学会秋季大会学術講演会ベストポスタープレゼンテーション賞

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論文

116

Verification of Microprobe Calibration Based on Actual Diameter Measurement of the Probe Tip Sphere

So Ito, Daichi Inukai, Takehiro Tomioka, Yasutomo Sugisawa, Kenta Matsumoto, Kazuhide Kamiya

Metrology 5(4) 73-73 2025年12月1日査読有り筆頭著者責任著者
Effect of surface modification of hydrophilic organic molecules on the energy gap of Si nanoparticles

Taisei Matsushita, Yuichi Ota, Hitoshi Mizuno, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(11) 2025年11月1日
Comparison of Rates of Air Leakage Due to Differences in Face Shape and Mask Size

Yuki Shigeno, Miho Yoshii, So Ito, Takashi Shigeno, Momoko Hirokawa, Hideaki Touyama, Masahiko Kanamori

World Journal of Nursing Research 4(1) 102-112 2025年8月3日
Investigation and Improvement of Inconsistency in Surface-Form Measurement Results Due to Difference of Incident Direction of Measuring Light in Abramson-Type Oblique-Incident Interferometer

So Ito, Takumi Yamagishi, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

Metrology 5(2) 34-34 2025年6月7日査読有り筆頭著者責任著者
Preparation of Si nanoparticles from bamboo leaves and measurement of their photoluminescence and electroluminescence spectra

Akira Banno, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito

Japanese Journal of Applied Physics 63(1) 01SP13-01SP13 2023年12月20日査読有り
Investigation of probing repeatability inside a micro-hole by changing probe approach direction for a local surface interaction force detection type microprobe

Masakazu Aruga, So Ito, Daichi Kato, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

Frontiers in Manufacturing Technology 3 2023年2月2日査読有り責任著者
Expansion of measurement area of hand-scraped surface using stitching method for oblique-incident interferometer

Masakazu ARUGA, So ITO, Fuma TSUGAWA, Kimihisa MATSUMOTO, Kazuhide KAMIYA

Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing 17(1) JAMDSM0010-JAMDSM0010 2023年査読有り責任著者
Preparation of undecanoic acid-terminated Si particles from rice husks

Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito, Hidehiro Yasuda

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 61(SB) 2022年2月
Design and Development of Oblique‑Incident Interferometer for Form Measurement of Hand‑Scraped Surfaces

So Ito, Daiki Kameoka, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

Nanomanufacturing and Metrology 4 69-76 2021年1月査読有り筆頭著者
Measurement of form error of a probe tip ball for coordinate measuring machine (CMM) using a rotating reference sphere

So Ito, Daisuke Tsutsumi, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto, Noritaka Kawasegi

Precision Engineering 61(1) 41-47 2020年1月査読有り
Development of a microprobing system for side wall detection based on local surface interaction force detection

So Ito, Yusuke Shima, Daichi Kato, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

International Journal of Automation Technology 14(1) 91-98 2020年査読有り
Structural Analysis of Luminescent Si Nanomaterials Synthesised from Rice Husks

Kimihisa Matsumoto, Chihiro Saitou, Kazuhide Kamiya, So Ito, Takao Sakata, Hidehiro Yasuda, Shinya Suzuki

Transactions of the Materials Research Society of Japan 44 129-132 2019年12月査読有り
Separating photoluminescence of porous Si in porous colloidal Si and chlorophyll dispersion

Kimihisa Matsumoto, Akira Eda, Kazuhide Kamiya, So Ito

Transactions of the Materials Research Society of Japan 44 177-179 2019年12月査読有り
Measurement Technologies for Manufacturing

Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Handbook of Manufacturing 541-568 2019年1月1日
An ultra-precision tool nanoindentation instrument for replication of single point diamond tool cutting edges

Yindi Cai, Yuan Liu Chen, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Hiraku Matsukuma, Wei Gao

Measurement Science and Technology 29(5) 054004 2018年3月23日査読有り
Luminescent Si nanomaterials prepared from rice husks of agricultural waste

Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito, Shigeki Kawabata, Mituru Inada, Shinya Suzuki

Transactions of the Materials Research Society of Japan 43(3) 167-170 2018年
An edge reversal method for precision measurement of cutting edge radius of single point diamond tools

Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Malu Xu, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY 50 380-387 2017年10月査読有り
Auto-tracking single point diamond cutting on non-planar brittle material substrates by a high-rigidity force controlled fast tool servo

Yuan-Liu Chen, Yindi Cai, Keisuke Tohyama, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY 49 253-261 2017年7月査読有り
Precision measurement of Z-slide vertical error motion of an ultra-precision lathe by using three-probe method

Zengyuan Niu, Yuan-Liu Chen, Daiki Matsuura, Jung Chul Lee, Ryo Kobayashi, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Jeong Seok Oh, Chun Hong Park

INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING 18(5) 651-660 2017年5月査読有り
An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement

Yuki Shimizu, Yukitoshi Kudo, Yuan-Liu Chen, So Ito, Wei Gao

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY 47 72-80 2017年1月査読有り

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MISC

知的な三次元計測の研究

伊東聡

ツールエンジニア 67(3) 75-80 2026年3月招待有り筆頭著者責任著者
「省・小・精の技術」に宿る挑戦（セイコーエプソン株式会社）

津田樹, 伊東聡

精密工学会誌 91(8) 857-858 2025年5月責任著者
Precision Measurement

So ITO

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 91(1) 27-31 2025年1月5日査読有り招待有り筆頭著者責任著者
Industry-Academia-Government Collaboration and Regional Revitalization Initiatives through Digital Transformation

Hideaki TOUYAMA, So ITO

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 89(1) 17-21 2023年1月5日
Researches on Low-Measurement Force and High-Sensitivity Microprobing Systems

So ITO

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 88(9) 684-687 2022年9月5日査読有り筆頭著者責任著者
16. 加工学・加工機器-16.8 加工計測

伊東聡

一般社団法人日本機械学会機械工学年鑑2021 2021年筆頭著者
精密位置決め技術の最新動向と有効活用のポイント PART1 精密位置決めの最新技術とその適用解説4 精密位置決めのためのセンサ活用

清水裕樹, 松隈啓, 伊東聡, 高偉

機械設計 62(9) 2018年
マイクロプローブのその場校正法を用いたマイクロスリット溝幅の精密測定

伊東聡, CHEN YuanLiu, 菊池浩貴, 小林遼, 清水祐樹, GAO Wei

砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2017 2017年
高精度加工と計測技術-計測・測定機器・システムの最適活用のポイント〔解説〕超精密形状計測加工システム-ダイヤモンド切削工具の機上ナノ計測-

清水裕樹, CHEN Yuan-Liu, JANG SungHo, 伊東聡, GAO Wei

機械技術 64(7) 2016年
高度化する精密位置決め技術の最新動向と設計への応用 PART1 超精密位置決め技術の最新動向と設計のポイント解説5 精密位置決めにおける多軸センサの活用

伊東聡, 清水裕樹, 高偉

機械設計 60(11) 2016年
長ストロークステージ向けの精密姿勢角センサの開発

清水裕樹, 石川龍弥, 片岡智史, CHEN Yuan-Liu, 伊東聡, GAO Wei

機械の研究 68(10) 2016年
スロットダイコーターの精密計測に関する研究-第2報マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築-

菊地浩貴, 伊東聡, 陳遠流, 清水裕樹, GAO Wei, 高橋和彦, 金山利彦, 荒川訓明, 林敦

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2016 2016年
スロットダイコーターの精密計測に関する研究-第3報マイクロプローブ先端球のその場校正の不確かさ評価-

伊東聡, 菊地浩貴, 小林遼, CHEN Yuan-Liu, 清水裕樹, GAO Wei, 高橋和彦, 金山利彦, 荒川訓明, 林敦

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2016 2016年
マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究

伊東聡, CHEN Yuanliu, 菊地浩貴, 清水裕樹, GAO Wei, 高橋和彦, 金山利彦, 荒川訓明, 林敦

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM) 2016 2016年
XYZマイクロステージに関する研究-ステージ基礎特性の評価-

清水裕樹, 菅原拓馬, 安達圭祐, 伊東聡, GAO Wei, 丹羽英二, 佐々木祥弘

日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM) 2016 2016年
光学式3軸角度センサの小型化に関する研究

丸山泰司, 清水裕樹, 伊東聡, GAO Wei, TAN Siew Leng

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2015 2015年
長尺AFMプローブによるマイクロ光学素子の表面形状測定に関する研究

伊東聡, JIA Zhigang, LI Minglei, 清水裕樹, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2015 2015年
水平走査プローブによる小型円筒ワークの精密形状測定に関する研究

町田裕貴, 清水裕樹, 伊東聡, GAO Wei, 山崎宏, 柴本裕輔, 花岡浩毅

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2015 2015年
超高感度角度センサに関する研究

丸山泰司, 清水裕樹, 伊東聡, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2015 2015年
3ビームロイドミラー干渉計による2軸回折格子加工に関する研究

相原涼, LI Xinghui, CAI Yindi, 伊東聡, 清水裕樹, GAO Wei

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2015 2015年

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書籍等出版物

精密計測学 : Bilingual edition

高, 偉, 清水, 裕樹, 水谷, 康弘, 道畑, 正岐, 河野, 大輔, 吉田, 一朗, 伊東, 聡, 清水, 浩貴

朝倉書店 2024年4月 (ISBN: 9784254201789)
Handbook of manufacturing

Yuki Shimizu, So Ito, Jungchul Lee, Shigeaki Goto, Hiraku Matsukuma, Wei Gao (担当:分担執筆, 範囲:Chapter 10: Measurement Technologies for Manufacturing)

World Scientific 2020年 (ISBN: 9789813271012)
Metrology

Wei Gao (担当:分担執筆, 範囲:Micro-dimensional Measurement by a Micro-probing System)

Springer 2019年

講演・口頭発表等

Analysis of measurement error in hi-speed microprobing system based on Hertzian contact theory

Daichi Inukai, So Ito, Kosuke Kamiya, Kimihisa Matsumoto, Kenta Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 11th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21) 2025年12月4日
Surface form measurement using an Abramson interferometry without displacement of the reference plane

Takumi Yamagishi, So Ito, Shuji Miyata, Kenta Matsumoto, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 11th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21) 2025年12月4日
Energy gap evaluation of Si nanoparticles surface terminated with hydrophilic organic molecules

Taisei Matsushita, Yuichi Ota, Hitoshi Mizuno, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto

The 10th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO2025)
Comparison of uncertainties in measurement of actual and effective diameters of the tip ball of microprobing system

So Ito, Daichi Inukai, Tkahiro Tomioka, Kenta Matsumoto, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide

The 16th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments/ The 3rd International Conference of Optical Imaging and Measurement (ISMTII/ICOIM2025) 招待有り
Comparison of Air Leakage Rates Due to Face Shape and Mask Size

Yuki SHIGENO, Miho YOSHII, So ITO, Momoko HIROKAWA, Hideki TOUYAMA, Masahiko KANAMORI

28th East Asian Forum of Nursing Scholars
Form measurement of hand-scraped surfaces using an Abramson oblique-incident interferometer

So Ito, Takumi Yamagishi, Kenta Matsumoto, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

9th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2024) 2024年12月3日
Investigation of the effect of high-speed measurement on microprobing systems

Daichi Inukai, So Ito, Kimihisa Matsumoto, Kenta Matsumoto, Kazuhide Kamiya

27th International Conference of Mechatronics and Technology (ICMT2024) 2024年11月21日
Three-dimensional measurement of hand-scraped surface by an oblique incident interferometer using a near infrared laser source

Takumi Yamagishi, So Ito, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024) 2024年10月26日
Diameter measurement of microprobe tip ball using a non-contact contour measuring machine

Daichi Inukai, So Ito, Takehiro Tomioka, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024) 2024年10月26日
Form deviation measurement of probe tip ball for CMM using a rotatable ring gauge

Tatsuki Tsuda, So Ito, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024) 2024年10月25日
Form error measurement of CMM probe tip ball based on interpolation method

So Ito, Daisuke Yamashita, Shiori Toyomoto, Kouki Tsuchida, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2023) 2023年9月18日
Preparation of Si nanoparticles from bamboo leaves and measurement of PL and EL spectra

Akira Banno, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito

The 9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023) 2023年6月5日
Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection

The 19th International Conference on Precision Engineering 招待有り
Evaluation of characteristics of microprobing system using detection of surface interaction force

So Ito, Daichi Kato, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21) 2021年11月14日
The study of wide-range measurement of the hand-scraped surface plate using a stitching method

Masakazu Aruga, So Ito, Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya

The 10th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21) 2021年11月14日
Preparation of undecenoic-acid-terminated Si nanocrystals from rice husks

Kimihisa Matsumoto, Kazuhide Kamiya, So Ito, Hidehiro Yasuda

The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021) 2021年6月1日
Uncertainty evaluation of form error measurement of probe tip ball using a rotating reference sphere

So Ito, Daichi Kato, Daisuke Tsutsumi, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto

18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
Dimensional measurement of micrometer-scale aperture using a surface interaction force detection type microprobe

Daichi Kato, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto

18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)
A microprobing system for precision dimensional measurement based on detection of local surface interaction force

So Ito

The 21st Takayanagi Kenjiro Memorial Symposium 招待有り
Displacement measurement for a linear positioning stage by using three-axis acceleration sensor

Taichi Kamata, Daichi Kato, So Ito, Kazuhide Kamiya, Kimihisa Matsumoto

The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019) 2019年9月1日

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担当経験のある科目(授業)

2018年10月 - 現在

工業計量学
2017年10月 - 現在

工業力学及び演習
2017年4月 - 現在

機械力学

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

3光束干渉解析に基づく偏光制御斜入射干渉計を用いた粗面表面微細形状の三次元計測

公益財団法人工作機械技術振興財団試験研究助成A 2025年4月 - 2026年3月

伊東聡
近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2023年4月 - 2026年3月

伊東聡
タッチプローブ球形状誤差の自律補正に基づく真円度/円筒度の高精度・高効率オンマシン計測に関する研究

公益財団法人マザック財団研究開発助成 2024年 - 2025年

伊東聡
多チャンネル同期サンプリングによる超解像度技術に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2020年4月 - 2023年3月

神谷和秀, 伊東聡, 松本公久
回転基準球を用いたマイクロプローブ三次元形状のナノ精度その場校正に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2020年4月 - 2023年3月

伊東聡
アブラムソン型斜入射干渉計を用いたきさげ加工面幾何形状の自動計測に関する研究

公益財団御法人大澤科学技術振興財団研究助成費 2022年 - 2023年

伊東聡
小型斜入射干渉計の導入によるきさげ加工の技能習得支援に関する研究

公益財団法人コニカミノルタ科学技術振興財団コニカミノルタ光みらい奨励金 2020年 - 2021年

伊東聡
超高精度ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア

科学研究費補助金 2015年4月 - 2020年3月

高偉
回転基準球を用いた3次元測定機マイクロプローブのナノ精度形状計測の研究

公益財団法人三豊科学技術振興協会研究助成 2019年 - 2020年

伊東聡
２軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2015年4月 - 2019年3月

高偉, 清水裕樹, 伊東聡
ツインマイクロプローブの非接触高速走査と実時空間校正による長尺微小溝幅の絶対計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2016年4月 - 2019年3月

伊東聡
次世代超精密移動ステージ角度誤差計測用高精度３軸レーザオートコリメータの研究

科学研究費補助金 2012年4月 - 2015年3月

高偉
マイクロ液柱の自律形成を利用した高感度検出プローブよる3次元形状計測に関する研究

科学研究費補助金 2014年 - 2014年

伊東聡
全方位高感度検出型ナノピペットプローブの開発と微小開口の内部形状測定に関する研究

科学研究費補助金 2012年 - 2013年

伊東聡
Demensinal Measrement of Micro-aperture with a Nanopipette ball probe

Grant-in-Aid for Scientific Research 2012年 - 2013年
走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いたアトリットル堆積量制御法の開発

日本学術振興会科学研究費補助金特別研究員奨励費 2011年 - 2011年

伊東聡

伊東聡

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

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