鈴木裕輝夫 (Yukio Suzuki) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学准教授

学位: 博士（工学）(東北大学)

J-GLOBAL ID: 201201066426098436
researchmap会員ID: 7000002203

外部リンク: http://www.mems.mech.tohoku.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム / MEMS integration, Wafer-level packaging, PZT actuator

経歴

2022年10月 - 現在

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 准教授
2019年4月 - 2022年9月

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 講師（専任）
2016年4月 - 2019年3月

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 助教
2012年4月 - 2016年3月

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター

学歴

- 2016年3月

東北大学, 工学研究科, バイオロボディクス
- 1993年3月

東京理科大学, 理学部, 物理学科

主要な委員歴

2024年2月 - 2024年11月

電気学会第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」, 論文委員
2024年

IEEE, NEMS2024, Technical Program Committee
2023年2月 - 2023年12月

電気学会第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」, 論文委員
2022年2月 - 2022年12月

電気学会第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」, 論文委員主査
2021年2月 - 2021年12月

電気学会第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 論文委員副査
2021年1月 - 2021年12月

電気学会第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 実行委員
2020年5月 - 2021年1月

電気学会第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 論文委員
2020年1月 - 2020年12月

電気学会第37回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 実行委員

受賞

2023年11月

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞, シリコンマイグレーションシール（SMS）ウェハレベルパッケージング技術によるMEMS 振動子の1 Pascal 真空封止, 電気学会

鈴木裕輝夫, ゴンティアンジャオ, 本田志弥, 宮下英俊, Muhammad Jehanzeb Khan, 塚本貴城, 田中秀治
2022年11月

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞, SMS ウェハレベル真空封止技術のためのサブミクロンリリースホールを介したベーパーHF 犠牲層エッチングの研究, 電気学会

Gong Tianjiao, 鈴木裕輝夫, 田中秀治
2020年11月

第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム最優秀技術論文賞(1/184件）, 深紫外LED向けシリコンパッケージング技術(Si-PKG)の開発, 電気学会

千葉広文, 鈴木裕輝夫, 安田喜昭, 田中秀治
2019年11月

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて優秀ポスター賞, 深紫外 LED 向けシリコンパッケージング技術の開発, 電気学会

千葉広文, 鈴木裕輝夫, 安田喜昭, 熊谷光恭, 小山孝明, 田中秀治
2019年11月

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞, シリコンマイグレーションシール(SMS)ウェハレベル真空パッケージング技, 電気学会

鈴木裕輝夫, DUPUIT Victor, 小島俊哉, 金森義明, 田中秀治
2018年11月

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞, レーザー消去された 0.13 μm CMOS-LSI マルチプロジェクトウェハへの TSV 加工, 電気学会

鈴木裕輝夫, 畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治
2016年10月

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞, 3件受賞 / 236件発表中, 電気学会センサ・マイクロマシン部門

鈴木裕輝夫, 福士秀幸, 室山真徳, 畑良幸, 中山貴裕, 平野栄樹, 野々村裕, 田中秀治
2016年10月

第８回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞, 2件受賞/57発表, 応用物理学会集積化MEMS技術研究会

森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 熊野勝文, 戸津健太郎, 平野栄樹, 田中秀治

主要な論文

Vacuum-Sealed MEMS Resonators Based on Silicon Migration Sealing and Hydrogen Diffusion

Tianjiao Gong, Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Journal of Microelectromechanical Systems 33(3) 369-375 2024年6月査読有り責任著者
Mechanical Quality Factor Evaluation of Damping Film Materials for Polymer/PZT Composite MEMS Actuator

Xuchen Wang, Yukio Suzuki, Chung-Min Li, Shuji Tanaka

Journal of Microelectromechanical Systems 1-9 2024年査読有り責任著者
Characterization of plasma-activated, thermally-annealed Si-SiO2 direct bond strength for vapor HF etching

Tianjiao Gong, Yukio Suzuki, Karla Hiller, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A: Physical 363 114691-114691 2023年12月査読有り責任著者
Investigation of Vapor HF Sacrificial Etching Characteristics Through Submicron Release Holes for Wafer-Level Vacuum Packaging Based on Silicon Migration Seal

Tianjiao Gong, Yukio Suzuki, Muhammad Jehanzeb Khan, Karla Hiller, Shuji Tanaka

Journal of Microelectromechanical Systems 2023年査読有り責任著者
DUV-LED packaging using high density TSV in silicon cavity and laser-glass-frit-bonded UV transmitting glass cap

Hirofumi Chiba, Yukio Suzuki, Yoshiaki Yasuda, Tianjiao Gong, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A: Physical Volume 344 113700 2022年9月査読有り責任著者
Membrane-supported lSI with integrated heater and temperature monitor for on-site annealing-recovery from 20 kGy gamma ray irradiation damage

Tianjiao Gong, Yukio Suzuki, Akinori Takeyama, Takeshi Ohshima, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A: Physical 343 2022年8月16日査読有り責任著者
PZT MEMS Speaker Integrated with Silicon-Parylene Composite Corrugated Diaphragm

Yuki Hirano, Yukio Suzuki, Norihito Fujita, Chung Min Li, Hirofumi Chiba, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2022-January 255-258 2022年責任著者
Development of silicon wafer packaging technology for deep UV LED

Hirofumi Chiba, Yukio Suzuki, Yoshiaki Yasuda, Mitsuyasu Kumagai, Takaaki Koyama, Shuji Tanaka

Electrical Engineering in Japan 214(1) 62-68 2021年3月査読有り責任著者
Silicon migration seal wafer‐level vacuum encapsulation

Yukio Suzuki, Victor Dupuit, Toshiya Kojima, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka

Electronics and Communications in Japan 104(1) 120-125 2020年11月16日査読有り筆頭著者責任著者
3-axis tactile sensor using quad-seesaw-electrodestructure on platform LSI with through silicon vias

Y. Hata, Y. Suzuki, M. Muroyam, T. Nakayama, Y. Nonomura, R. Chand, H. Hirano, Y. Omura, M. Fujiyoshi, S. Tanaka

Sensors and Actuators A 273 30-41 2018年3月査読有り
300 µm DEEP THROUGH SILICON VIA IN LASER-ABLATED CMOS MULTI-PROJECT WAFER FOR COST-EFFECTIVE DEVELOPMENT OF INTEGRATED MEMS

Yukio Suzuki, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Yoshiyuki Hata, Takahiro Nakayama, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka

Proc. MEMS 2017, Las Vegas, USA, 2017 744-748 2017年筆頭著者責任著者
Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90 mm diameter for LPP EUV light source

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 231 59-64 2015年7月査読有り筆頭著者責任著者
FREE-STANDING SUBWAVELENGTH GRID INFRARED REJECTION FILTER OF 90 MM DIAMETER FOR LPP EUV LIGHT SOURCE

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS) 482-485 2014年筆頭著者責任著者
A HIGH ASPECT RATIO MEMS PROCESS WITH SURFACE MICROMACHINED

A. Geisberger, S. Schroeder, J. Dixon, Y. Suzuki, J. Makwana, S. Qureshi

Proc. Transducer 2013, Barcelona, SPAIN 18-21 2013年6月21日
Low-stress epitaxial polysilicon process for micromirror devices

Yukio Suzuki, Kentaro Totsu, Hiraku Watanabe, Masaaki Moriyama, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 133(6) 7-228 2013年査読有り筆頭著者責任著者

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MISC

特集「MEMS技術の現状と展望」 MEMSウェーハレベルパッケージング

鈴木裕輝夫

金属第95巻(4) 41-47 2025年4月招待有り筆頭著者
MEMS－ウェハレベルパッケージ，－LSI集積化

金属 87(12) 1027-1032 2017年5月招待有り
MEMS技術の微細パターンニングへの応用

鈴木裕輝夫

半導体微細パターニング 363-370 2017年招待有り
試作コインランドリにおけるプロセス開発と試作支援

戸津健太郎, 森山雅昭, 鈴木裕輝夫, 小野崇人, 吉田慎哉, 江刺正喜

金属 83(9) 13-20 2013年9月1日
Hands-on-access fabrication facility for MEMS Development and production

Kentaro Totsu, Masaaki Moriyama, Yukio Suzuki, Takahito Ono, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi

Proceedings of the International Display Workshops 2 1405-1408 2013年査読有り

主要な講演・口頭発表等

マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術

鈴木裕輝夫

「第21回MEMS集中講義」 2024年8月招待有り
Silicon Migration Seal (SMS) Wafer-Level Packaging Technologies for Resonator MEMS

Yukio Suzuki

The 11th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2024)) 2024年6月24日招待有り
シリコンマイグレーションシール（SMS)ウェハレベル高真空封止技術

鈴木裕輝夫

第 71 回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム「IoT 市場拡大に資する半導体産業の進展とコア技術とは？」 2024年3月24日招待有り
マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術

鈴木裕輝夫

「第21回MEMS集中講義」 2023年8月9日招待有り
集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用

「第20回MEMS集中講義」 2022年8月8日招待有り

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鈴木裕輝夫

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学歴

主要な委員歴

受賞

主要な論文

MISC

主要な講演・口頭発表等

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