髙橋 和貴
タカハシ カズノリ (Kazunori Takahashi)
更新日: 03/18
その他
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2014年6月 - 2014年6月東北大学でこれまでに開発してきた有磁場型の誘導結合性プラズマまたはヘリコンプラズマ源へエッチングガスであるSF6を導入し,Siウエハの高速反応性イオンエッチングに関する実験的研究を行う.ここでは,プラズマ生成へと投入された高周波電力の伝送効率の評価,各種プラズマパラメータの評価,Siウエハのエッチングレートの評価等を実施し,ミニマル装置における高速エッチングプロセス確立へ向けた基盤技術を確立する.
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2014年4月 - 2014年4月高密度プラズマ生成が可能な誘導結合性放電または軸方向磁場を印加したヘリコン波放電に収束型磁場を重畳することでプラズマの輸送効率を最大限に高め,基板付近のプラズマの高密度化を実現することで,超高速エッチングレートを達成することを目的としている.