2020年10月
小特集 革新的半導体産業システム“ミニマルファブ”におけるプラズマテクノロジー 「ヘリコンプラズマ源を用いたマルチターゲットスパッタリング装置」
プラズマ・核融合学会誌
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回数 : 748
- 巻
- 96
- 号
- 10
- 開始ページ
- 552
- 終了ページ
- 556
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
髙橋 和貴
タカハシ カズノリ (Kazunori Takahashi)
更新日: 04/03
論文