2021年 粉体ターゲットプラズマプロセスを用いた傾斜機能性薄膜の作製 プラズマ・核融合学会年会(Web) 川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 日比野祐介, 佐竹卓彦 巻 38th 号 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202202223034101480 ID情報 J-Global ID : 202202223034101480 エクスポート BibTeX RIS
