2012年5月10日 Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 川崎 仁晴, 大島 多美子, 猪原 武士, 柳生 義人, 須田 義昭 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://ci.nii.ac.jp/naid/10030604819