特許権 負圧利用磁気ヘッドスライダの製造方法 大橋啓之 出願番号 特願昭56-196510 出願日 1981年12月7日 公開番号 特開昭58-98876 公開日 1983年6月11日 特許番号/登録番号 特許1494231 登録日 1989年4月20日 発行日