
江利口 浩二
エリグチ コウジ (Koji Eriguchi)
更新日: 07/02
基本情報
研究キーワード
30研究分野
5経歴
3-
2016年7月 - 現在
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2005年7月 - 2016年6月
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1991年4月 - 2005年7月
委員歴
26-
2021年3月 - 2023年3月
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2019年 - 2020年
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2017年4月 - 2019年3月
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2014年
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2011年 - 2013年
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2009年 - 2012年
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2010年 - 2011年
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2008年 - 2010年
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2008年 - 2010年
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2007年 - 2008年
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2008年
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2008年
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2007年
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2007年
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2004年 - 2005年
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2000年 - 2005年
受賞
24-
2021年3月
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2018年9月
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2018年3月
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2015年9月
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2014年2月
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2013年3月
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2012年9月
論文
147-
Applied Physics Letters 120(3) 031904-031904 2022年1月17日
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Jpn. J. Appl. Phys. 60 040101 2021年3月 査読有り招待有り筆頭著者
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J. Vac. Sci. Technol. A 39 043002 2021年 査読有り
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Japanese Journal of Applied Physics 59(SJ) SJJC02-SJJC02 2020年6月1日 査読有り最終著者
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B 38(1) 2019年12月 査読有り
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J. Appl. Phys. 125 083301 2019年 査読有り
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J. Vac. Sci. Technol. A 37(1) 011304-01-011304-10 2019年1月 査読有り
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J. Appl. Phys. 126 083304 2019年 査読有り
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J. Phys. D: Applied Physics 52 455102 2019年 査読有り
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Surface and Coatings Technol. 377 124854 2019年 査読有り
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J. Vac. Sci. Technol. A 37 051301 2019年 査読有り
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Plasma Process. Polym. 16(9) e1900058-1900058 2019年 査読有り
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AIP Advances 8(5) 055027 2018年5月1日 査読有り
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Jpn. J. Appl. Phys. 57 06JD02 2018年5月 査読有り
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Jpn. J. Appl. Phys. 57 06JD04 2018年5月 査読有り
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Jpn. J. Appl. Phys. 57 06JD03 2018年5月 査読有り
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J. Appl. Phys. 124 143301 2018年 査読有り
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JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 50(26) 26LT01 2017年7月 査読有り
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17th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2017 73-76 2017年6月30日 査読有り
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(6) 06HA01 2017年6月 査読有り招待有り
MISC
138-
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
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応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
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日本航空宇宙学会中部・関西支部合同秋期大会講演論文集(CD-ROM) 56th 2019年
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応用物理 87(12) 895-901 2018年12月 招待有り
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The 16th International Conference on Precision Engineering 941-8147 2016年11月 査読有り
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 119(5) 2016年2月
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Proc. 37th International Symposium on Dry Process (DPS) 13-14 2015年11月 査読有り
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Proc. 37th International Symposium on Dry Process (DPS) 139-140 2015年11月 査読有り
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Proc. 37th International Symposium on Dry Process (DPS) 211-212 2015年11月 査読有り
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Proc. 37th International Symposium on Dry Process (DPS) 213-214 2015年11月 査読有り
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Role of Plasma Density in Damage Characterization and its Impact on Low-Damage Plasma Process DesignAVS 62nd International Symposium & Exhibition PS+AS+SS-WeA-10 2015年10月 査読有り
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2015 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM) 177-180 2015年 査読有り
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2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON IC DESIGN & TECHNOLOGY (ICICDT) 2015年 査読有り
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2015 International Conference on IC Design & Technology (ICICDT) 2015年 査読有り
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2015 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM (IRPS) 5B.4.1-5B.4.4 2015年 査読有り
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Proc. 36th International Symposium on Dry Process (DPS) 51-52 2014年11月 査読有り
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Proc. 36th International Symposium on Dry Process (DPS) 131-132 2014年11月 査読有り
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Proc. 36th International Symposium on Dry Process (DPS) 135-136 2014年11月 査読有り
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Systematic comparison of various analytical techniques for evaluating plasma-induced damage recoveryProc. 36th International Symposium on Dry Process (DPS) 133-134 2014年11月 査読有り
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Proc. 36th International Symposium on Dry Process (DPS) 19-30 2014年11月 査読有り
書籍等出版物
9-
(株)エヌ・ティー・エス, 2019 2019年2月
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応用物理 第87巻 第12号 2018年12月
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株式会社コロナ社(日本真空学会 編) 2018年2月
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森北出版株式会社 2017年
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ケミカルエンジニヤリング 2013年
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リアライズ社 1996年
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サイエンスフォーラム社 1995年
講演・口頭発表等
27-
IEEE Int. Reliability Physics Symp (IRPS) 2021年3月24日
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International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM 2020) 2020年12月15日 招待有り
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IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 2020年12月14日
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International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices 2020年10月6日
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Proc. 52nd International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM) 2020年9月27日
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IEEE Int. Reliability Physics Symp (IRPS) 2020年5月 招待有り
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41st International Symposium on Dry Process: DPS2019, November 21-22, 2019, JMS Aster plaza, Hiroshima, Japan 2019年11月
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International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES – SCIENCE AND TECHNOLOGY – : IWDTF2019, November 18-20, Multi-Purpose Digital Hall, Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan, S1-1 (2019) 2019年11月
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The 72nd Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), October 28-November 01, 2019, the Texas A&M Hotel and Conference Center in College Station, Texas, DT2-3 (Oct. 29, 2019) 2019年10月 招待有り
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32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference: MNC2019, Octorber 28-31, 2019, International Conference Center Hiroshima, Hiroshima, Japan. (2019) 2019年10月
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The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering– AEPSE2019. S3-KN01, Sept. 02-05, Jeju Isand, Korea 2019年9月 招待有り
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51st International Conference on Solid State Devices and Materials: SSDM2019 2019年9月
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ICMCTF-46 2019 2019年5月23日
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第206回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究会 2018年2月9日 招待有り
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17th International Workshop on Junction Technology 2017 2017年6月2日 招待有り
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6th International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors 2017年5月24日 招待有り
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The 26th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis 2015年10月7日 招待有り
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Semicon Korea - S4. Plasma Science and Etching Technology 2015年2月5日 SEMI 招待有り
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67th Annual Gaseous Electronics Conference 2014年11月4日 American Physical Society 招待有り