論文

査読有り
2019年

Characterization of surface modification mechanisms for boron nitride films under plasma exposure

Surface and Coatings Technol.
  • Tomoya Higuchi
  • ,
  • Masao Noma
  • ,
  • Michiru Yamashita
  • ,
  • Keiichiro Urabe
  • ,
  • Shigehiko Hasegawa
  • ,
  • Koji Eriguchi

377
開始ページ
124854
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1016/j.surfcoat.2019.07.071

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.07.071
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000488417800008&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1016/j.surfcoat.2019.07.071
  • ISSN : 0257-8972
  • Web of Science ID : WOS:000488417800008

エクスポート
BibTeX RIS