論文

査読有り
2006年4月25日

入力・横揺れ制約を考慮した真空環境用二軸ウエハ搬送ロボットの制御系設計と実験による検証(機械力学,計測,自動制御)

日本機械学會論文集. C編
  • 大原 伸介
  • ,
  • 平田 研二
  • ,
  • 太田 快人

72
716
開始ページ
1184
終了ページ
1193
記述言語
日本語
掲載種別
DOI
10.1299/kikaic.72.1184
出版者・発行元
一般社団法人日本機械学会

This paper considers the positioning control of wafer transfer robots. In order to improve the productivity of semiconductors, the control system for wafer transfer robots is required to achieve high-speed transfer and highly accurate positioning. However, it is not easy to achieve such performance since the robots have non-linear properties. In this paper, we consider the positioning control of the robots by switching controllers which are designed using Loop Shaping Design Procedure. We evaluate the effectiveness of this proposed method through experiments.

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1299/kikaic.72.1184
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/110004718597
CiNii Books
http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00187463
URL
http://id.ndl.go.jp/bib/7944806
ID情報
  • DOI : 10.1299/kikaic.72.1184
  • ISSN : 0387-5024
  • CiNii Articles ID : 110004718597
  • CiNii Books ID : AN00187463

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