MISC

2015年11月

ナノスケールの特異応力場を有する Si 中のき裂の伝ぱ基準評価

第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
  • 澄川 貴志
  • ,
  • 芦田 晋作
  • ,
  • 田中 秀平
  • ,
  • 北村 隆行

記述言語
日本語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨(全国大会,その他学術会議)

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