MISC

2014年9月

赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験

日本機械学会2014年度年次大会
  • 上杉晃生
    • ,
  • 安富貴浩
    • ,
  • 平井義和
    • ,
  • 土屋智由
    • ,
  • 田畑修
開始ページ
J2240303
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
エクスポート
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