2009年8月5日
Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA
LIGA and its Applications
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- 巻
- 7
- 号
- 開始ページ
- 103
- 終了ページ
- 142
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- DOI
- 10.1002/9783527622573.ch5
- 出版者・発行元
- Wiley-VCH Verlag
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1002/9783527622573.ch5
- SCOPUS ID : 85018825465