MISC

2009年8月5日

Exposure and Development Simulation for Deep X-Ray LIGA

LIGA and its Applications
  • Jan G. Korvink
  • ,
  • Sadik Hafizovic
  • ,
  • Yoshikazu Hirai
  • ,
  • Pascal Meyer

7
開始ページ
103
終了ページ
142
記述言語
英語
掲載種別
DOI
10.1002/9783527622573.ch5
出版者・発行元
Wiley-VCH Verlag

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1002/9783527622573.ch5
URL
https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85018825465&origin=inward
ID情報
  • DOI : 10.1002/9783527622573.ch5
  • SCOPUS ID : 85018825465

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