2012年10月
Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications
The 2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012)
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）