論文

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2018年

静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌

宇野亜季子
平井義和
土屋智由
田畑修

巻: 138
号: 2
開始ページ: 66
終了ページ: 73
記述言語: 日本語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1541/ieejsmas.138.66
出版者・発行元: 一般社団法人電気学会

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1541/ieejsmas.138.66
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/130006329127
URL: https://ci.nii.ac.jp/naid/130006329127/

ID情報

DOI : 10.1541/ieejsmas.138.66
ISSN : 1347-5525
ISSN : 1341-8939
CiNii Articles ID : 130006329127
SCOPUS ID : 85041487832

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