論文

査読有り
2016年

3次元微細加工を応用したBody on a Chipの開発

電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
  • 加藤 義基
  • ,
  • 平井 義和
  • ,
  • 亀井 謙一郎
  • ,
  • 土屋 智由
  • ,
  • 田畑 修

136
6
開始ページ
229
終了ページ
236
記述言語
日本語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1541/ieejsmas.136.229
出版者・発行元
一般社団法人 電気学会

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1541/ieejsmas.136.229
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/130005154785
URL
http://ci.nii.ac.jp/naid/130005154785/
ID情報
  • DOI : 10.1541/ieejsmas.136.229
  • ISSN : 1347-5525
  • ISSN : 1341-8939
  • CiNii Articles ID : 130005154785
  • SCOPUS ID : 84974588300

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