2012年4月20日 Simultaneous multi-directional plasma etching for creating three-dimensional photonic nanostructures META12: 3rd International Conference on Metamaterials K. Suzuki, K. Ishizaki, S. Noda 記述言語 英語 掲載種別 研究発表ペーパー・要旨(国際会議) エクスポート BibTeX RIS