本研究課題の目的は「積層セラミック技術とMEMS技術を組み合わせることでこれまで困難であった小型な電磁誘導式発電機を開発する」ことにあった。研究成果として、積層セラミック技術による立体配線と磁性コアをもつ三相磁気回路と、MEMS工程で作製したボールベアリングとリム型ロータを導入した回転数290,000rpmのタービンを組み合わせた5mm程度の小型電磁誘導式発電機を開発した。発電結果として、圧搾窒素を0.3MPa、2.9l/minの条件で流入したとき約3mVA（負荷抵抗3Ω）の出力電力を得た。今後は開発した発電機をランキンサイクルと組み合わせることで小型な発電システムの開発を行う。