特許権 圧電体膜の製造方法 国立大学法人東京工業大学, 学校法人上智学院, 国立大学法人東北大学, 国立大学法人山梨大学 舟窪浩, 舘山明紀, 伊東良晴, 清水荘雄, 折野裕一郎, 黒澤実, 内田寛, 白石貴久, 木口賢紀, 熊田伸弘 出願番号 特願2019-564746 出願日 2019年1月10日