特許権
基板検査装置、基板検査方法および基板検査プログラム
名古屋電機工業株式会社
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- 出願番号
- 特願2011-235109
- 出願日
- 2011年10月26日
- 公開番号
- 特開2013-092460
- 公開日
- 2013年5月16日
- 特許番号/登録番号
- 特許第5851200号
- 登録日
- 発行日
- 2015年12月11日
- リンク情報
- ID情報
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- J-Global ID : 201603008447078246