本研究では,粒度#140,集中度50という,従来考えられていなかった粗粒でかつ集中度の低いダイヤモンド砥石を用いて,炭化けい素セラミック,窒化けい素セラミック,アルチックセラミックを各種条件で研削し,延性モード超平滑研削条件を検討した.得られた主な事柄をまとめると以下の通りになる.
1)粒度#140,集中度50の粗粒ダイヤモンド砥石を用いて延性モード超平滑研削の可能性を検討した,3種類のセラミック(炭化けい素セラミック,窒化けい素セラミック,アルチックセラミック)の全てで,30nm(P-V)[測定面積256x256μm]以下の延性モード超平滑研削面を得ることができた.
2)セラミックの種類により,延性モード超平滑研削条件は異なる.その条件には,テーブル速度や砥石周速度の他,砥石の種類(特に,粒度と集中度)や砥石作業面態が影響することが考えられ,その最適条件を明確にすることは,今後の重要な課題である.
3)超平滑研削には砥石作業面の切れ刃の分布や逃げ面形状が大きく影響すると考えられるが,砥石作業面性状を観察・測定するのは,非常に煩雑であるので,その自動測定システムを確立した.
(講演発表)
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの超平滑研削-研削条件の影響-,1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1999)257
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの延性モード研削-砥石粒度の影響-,1999年度精密工学会九州支部沖縄地方講演会講演論文集(1999)63-64
安井平司他:画像処理を用いた砥石作業面の自動評価システムの構築,2000年度精密工学会春期大会学術講演会講演論文集(2000発表予定)
安井平司他:画像処理を用いた砥石作業面の自動評価システムの構築2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2000)279
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの延性モード研削-砥石作業面性状の影響-,2000年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(2000)153
安井平司他:ファインセラミックスの精密研削切断に関する研究2000年度精密工学会中国四国支部・九州支部共催学術講演会講演論文集(2000)45-46
安井平司他:11年度外3編,12年度外3編