鈴木陽香 (Haruka Suzuki) - マイポータル

基本情報

所属: 名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻未来エレクトロニクス創造准教授
: (兼任)工学部電気電子情報工学科
: (兼任)大学院工学研究科

学位: 博士（工学）(名古屋大学)

連絡先: suzuki.haruka.c3f.mail.nagoya-u.ac.jp
研究者番号: 80779356
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0002-6877-6417
J-GLOBAL ID: 201701007660812798
Researcher ID: AAJ-4158-2021
researchmap会員ID: 7000019509

研究キーワード

研究分野

エネルギー / プラズマ応用科学 /

経歴

2024年11月 - 現在

名古屋大学, 大学院工学研究科, 准教授
2024年11月 - 現在

名古屋大学, 低温プラズマ科学研究センタープラズマ科学部門, 准教授
2022年3月 - 2024年10月

名古屋大学, 大学院工学研究科, 講師
2022年3月 - 2024年10月

名古屋大学, 低温プラズマ科学研究センタープラズマ科学部門, 講師
2016年4月 - 2022年2月

名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教

学歴

2013年4月 - 2016年3月

名古屋大学, 工学研究科, 電子情報システム専攻
2011年4月 - 2013年3月

名古屋大学, 工学研究科, 電子情報システム専攻
2007年4月 - 2011年3月

名古屋大学, 工学部, 電気電子・情報工学科

委員歴

2022年1月 - 現在

一般社団法人プラズマ・核融合学会, 領域委員
2024年4月 - 2025年3月

AAPPS-DPP 2024 conference (8th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics), Applied Program Committee
2024年 - 2024年

ISPlasma2025/IC-PLANTS2025, Program Committee
2024年 - 2024年

Executive Committee
2021年6月 - 2023年6月

一般社団法人プラズマ・核融合学会, 編集委員
2023年 - 2023年

ISPlasma2024/IC-PLANTS2024, Program Committee
2023年 - 2023年

Executive Committee
2022年 - 2022年

ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, Program Committee
2021年 - 2021年

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, Editorial Committee
2021年 - 2021年

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, Program Committee
2021年 - 2021年

ISPlasma2022/IC-PLANTS2022, Executive Committee
2020年 - 2020年

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021, Program Committee
2020年 - 2020年

ISPlasma2021/IC-PLANTS2021, Executive Committee
2019年 - 2019年

ISPlasma2020/IC-PLANTS2020, Executive Committee
2018年 - 2018年

ISPlasma2019/IC-PLANTS2019, Executive Committee
2017年 - 2018年

40th International Symposium on Dry Process, Ad Hoc Committee for 40th Anniversary Project
2018年

40th International Symposium on Dry Process, Executive Committee
2017年 - 2017年

ISPlasma2018/IC-PLANTS2018, Executive Committee
2016年 - 2016年

ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, Executive Committee

主要な受賞

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論文

Influence of sheath collisions on the ion angular distributions in a dual-frequency capacitively coupled plasma

Dohan Kim, Shunya Kawamura, Kodai Fujitani, Masayoshi Naito, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 2025年9月1日
Angular distribution measurement of high-energy ions and neutrals impinging on an RF electrode in a dual-frequency capacitively-coupled Ar plasma

Shunya Kawamura, Dohan Kim, Keita Ichikawa, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda

Plasma Sources Science and Technology 2025年5月1日
Measurement of energy-resolved ion angular distribution in a dual-frequency capacitively coupled argon plasma

Dohan Kim, Shunya Kawamura, Masayoshi Naito, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 2025年5月1日
Evaluation of the spatial structure of multiline emission in a capacitively coupled plasma using tomographic reconstruction

Manabu Kyuzo, Kenta Harada, Ryota Izumi, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 63 056004 2024年5月28日査読有り
Time-varying mechanism of ion composition in a pulse-modulated Ar/C#D4#DRF#D8#DR/O#D2#DR dual-frequency capacitively coupled plasma

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yudai Akatsuka, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 63(1) 016001 2023年12月26日査読有り
Mass spectroscopic measurement of time-varying ion composition in a pulse-modulated Ar/C#D4#DRF#D8#DR/O#D2#DR dual-frequency capacitively coupled plasma

Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 62 SI1003 2023年3月10日査読有り
Polyvinyl alcohol-potassium iodide gel probe to monitor the distribution of reactive species generation around atmospheric-pressure plasma jet

Trung Nguyen TRAN, Min HU, Tomohiro OGASAWARA, Yuki IWATA, Haruka SUZUKI, Jin SAKAMOTO, Masafumi AKIYOSHI, Hirotaka TOYODA, Hiroto MATSUURA

Plasma Science and Technology 25(3) 035404 2023年1月18日査読有り
Influence of small ground surface on plasma property in an inductively-coupled plasma with floating liner

Kyuzo, M., Chiba, Y., Suzuki, H., Toyoda, H.

Japanese Journal of Applied Physics 62(SA) 2023年
Influence of small ground surface on plasma property in an inductively–coupled plasma with floating liner

Manabu Kyuzo, Yukinori Chiba, Haruka Suzuki, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 62 SA1008 2022年11月11日査読有り
High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O2 atmospheric-pressure microwave line plasma

H. Suzuki, T. Ogasawara, Y. Iwata, H. Bae, H. Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 2022年7月1日
High-speed hydrophilic and ashing treatments of polyimide using Ar/O#D2#DR atmospheric-pressure microwave line plasma

Haruka Suzuki, Tomohiro Ogasawara, Yuki Iwata, Hansin Bae, Hirotaka Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 61(SI) SI1008 2022年6月13日査読有り筆頭著者
Enhancement of the ion flux to the substrate by high voltage biasing in an electron cyclotron resonance plasma and its application to high-speed deposition of conductive carbon film

Hansin Bae, Ikumi Hamaguchi, Kensuke Sasai, Haruka Suzuki, Hirotaka toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 60(12) 126002 2021年12月2日査読有り
Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma

Keita Ichikawa, Manh Hung CHU, Makoto Moriyama, Naoya Nakahara, Haruka Suzuki, Daiki Iino, Hiroyuki Fukumizu, Kazuaki Kurihara, Hirotaka Toyoda

Applied Physics Express 14(12) 126001 2021年11月10日査読有り
Quantitative evaluation of hydrogen retention of solid tin after exposure to hydrogen plasma

Kota Tamura, Haruka Suzuki, Junichi Miyazawa, Suguru Masuzaki, Hirotaka Toyoda

Fusion Engineering and Design 170 112532 2021年9月査読有り
High-speed deposition of graphite-like carbon film by Ar/C#D6#DRH#D6#DR surface-wave plasma with high-voltage pulse biasing

H. Bae, K. Sasai, H. Suzuki, H. Toyoda

Vacuum 192 110429 2021年7月3日査読有り
Spatial uniformity evaluation of atmospheric-pressure microwave line plasma for wide-area surface treatment

Haruka Suzuki, Hirotsugu Koma, Tomohiro Ogasawara, Yosuke Koike, Hirotaka Toyoda

Plasma and Fusion Research 16 1406046 2021年4月9日査読有り筆頭著者責任著者
Angular distribution measurement of high-energy argon neutral and ion in a 13.56 MHz capacitively-coupled plasma

Ichikawa, K., Chu, M.H., Moriyama, M., Nakahara, N., Suzuki, H., Iino, D., Fukumizu, H., Kurihara, K., Toyoda, H.

Applied Physics Express 14(12) 2021年
Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma

Moriyama, M., Nakahara, N., Kurihara, K., Iino, D., Fukumizu, H., Suzuki, H., Toyoda, H.

Japanese Journal of Applied Physics 60(1) 016001-016001 2021年1月1日査読有り
Evaluation of absolute charge density at the bottom of high aspect capillary holes exposed to a pulsed very high frequency plasma

Moriyama, M., Nakahara, N., Mitsuya, A., Suzuki, H., Kurihara, K., Iino, D., Fukumizu, H., Toyoda, H.

Japanese Journal of Applied Physics 59(SJ) SJJB03-SJJB03 2020年6月1日査読有り
Atmospheric-pressure microwave line plasma with an asymmetric cross-section waveguide for long-scale N₂ plasma production

Suzuki, H., Tamura, Y., Chu, M.H., Toyoda, H.

Japanese Journal of Applied Physics 59(1) 016002-016002 2020年1月1日査読有り筆頭著者責任著者

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MISC

ものづくりのための新規プラズマ源の開発を目指して

鈴木陽香

静電気学会誌 45(3) 110-111 2021年5月31日筆頭著者最終著者責任著者
長尺大気圧マイクロ波プラズマの生成と表面処理への応用

豊田浩孝, 鈴木陽香

表面技術 71 624-628 2020年招待有り
大気圧マイクロ波放電による高密度長尺ラインプラズマ

豊田浩孝, 鈴木陽香

応用物理 88(2) 101-104 2019年2月10日
マイクロ波励起メートル級プラズマの生成とその特性

鈴木陽香

プラズマエレクトロニクス分科会会報 (66) 29-30 2017年6月招待有り筆頭著者最終著者責任著者
液中気泡内における水蒸気とマイクロ波プラズマの相互作用

鈴木陽香, 石島達夫, 豊田浩孝

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 1806-1806 2012年2月29日

主要な講演・口頭発表等

296

[第3回ダイバーシティ＆インクルージョン賞女性研究者研究奨励賞受賞記念講演] 高周波放電を用いた大気圧高密度プラズマ源の開発と応用に関する研究

鈴木陽香

2025年第72回応用物理学会春季学術講演会公益社団法人応用物理学会招待有り
Time-resolved measurement of ion composition in a pulse modulated Ar/C4F8/O2 dual- frequency capacitively coupled plasma using mass spectrometry

Haruka Suzuki, Shuichi Kuboi, Haruhito Kato, Yuto Seki, Yudai Akatsuka, Hirotaka Toyoda

招待有り

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担当経験のある科目(授業)

2024年 - 2024年

[G30]自動車のための電子・情報技術 (名古屋大学)
2024年 - 2024年

電磁理論 (名古屋大学)
2023年 - 2023年

プロセスプラズマ工学特論 (名古屋大学)
2023年 - 2023年

電磁理論 (名古屋大学)
2022年 - 2022年

電磁理論 (名古屋大学)
2021年 - 2021年

物理学実験 (名古屋大学)
2021年 - 2021年

電気電子情報工学実験第１ (名古屋大学)
2021年 - 2021年

電気電子情報工学実験第２ (名古屋大学)
2020年 - 2020年

電気電子情報工学実験第１ (名古屋大学)
2020年 - 2020年

電気電子情報工学実験第２ (名古屋大学)
2019年 - 2019年

電気電子情報工学実験第２ (名古屋大学)
2019年 - 2019年

電気電子情報工学実験第１ (名古屋大学)
2018年 - 2018年

電気電子情報工学実験第２ (名古屋大学)
2018年 - 2018年

電気電子情報工学実験第１ (名古屋大学)
2017年 - 2017年

電気電子情報工学実験第２ (名古屋大学)
2017年 - 2017年

電気電子情報工学実験第１ (名古屋大学)
2016年 - 2016年

集積プロセス特別実験及び演習 (名古屋大学)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

放射輸送整合逆問題によるプロセスプラズマ三次元再構成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2026年4月 - 2029年3月

鈴木陽香, 山下雄也
気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

豊田浩孝, 鈴木陽香
気体流および液体流を用いた弱減圧マイクロ波プラズマ生成と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

豊田浩孝, 鈴木陽香
樹脂表面改質機構の解明

共同研究 2023年11月
高周波プロセスプラズマにおいて真空容器壁面の状態がプラズマに与える影響の評価

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究 2021年4月 - 2023年3月

鈴木陽香
プロセスプラズマのイメージング計測技術の開発

2022年度一般共同研究 2021年4月 - 2023年3月
ラジカル生成促進のための大気圧マイクロ波プラズマの電子温度制御技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究 2018年4月 - 2021年3月

鈴木陽香
液体流プラズマを用いた高速大流量液体処理中における反応生成物の調査

2021年度国内研究助成 2021年 - 2021年
大面積フィルム処理のための大気圧長尺マイクロ波プラズマにおける酸素ラジカル空間分布計測

第39回（令和3年度）研究助成 2021年 - 2021年
分子ガスを用いた大気圧長尺マイクロ波プラズマによる幅広ラジカル生成とその応用展開

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2016年4月 - 2019年3月

豊田浩孝, 鈴木陽香, 田村宥人, 山本匡毅, 猪俣弥雄起, 小池洋右, 馬場賀己, 石川翔太
大気圧プラズマCVD法による大面積ガスバリアSiN膜の高速堆積技術の開発

公益財団法人立松財団特別研究助成 2017年4月 - 2019年3月
大規模表面処理のための長尺大気圧マイクロ波プラズマ装置開発

公益財団法人内藤科学技術振興財団研究助成金 2017年4月 - 2018年3月
大気圧マイクロ波水蒸気プラズマによる高密度かつ高純度活性種の生成と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業研究活動スタート支援 2016年8月 - 2018年3月

鈴木陽香

産業財産権

2018-051429 プラズマＣＶＤ装置、及びフィルムの製造方法

豊田浩孝, 鈴木陽香, 慈幸範洋, 奈良井哲
特開2017-228354 マイクロ波供給装置、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法

伊藤仁, 堀勝, 豊田浩孝, 鈴木陽香, 関根誠
2017-242257 プラズマ発生装置

豊田浩孝, 鈴木陽香

社会貢献活動

テクノフロンティアセミナー TEFS2024

講師, 企画

2024年8月 - 2024年8月
進学説明会・相談会ミニ講演

講師

東北大学進学説明会・相談会 2024年6月23日 - 2024年6月23日
テクノフロンティアセミナー TEFS2019

講師, 企画

2019年8月
テクノフロンティアセミナー TEFS2018

講師, 企画

2018年8月
テクノフロンティアセミナー TEFS2017

講師, 企画

2017年8月
テクノフロンティアセミナー TEFS2016

講師, 企画

2016年8月
女子中高生理系進学推進セミナー

出演

名古屋大学男女共同参画推進専門委員会 2016年8月

鈴木陽香

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

主要な受賞

論文

MISC

主要な講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

社会貢献活動

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