2013年3月28日 アモルファス窒化炭素薄膜の窒素源について 第60回応用物理学会春季学術講演会 伊藤治彦, 山元愛弓, NURUL IZZATY, BINTI ZAMRI, 鈴木常生 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般) 主催者 応用物理学会 開催地 日本(神奈川工科大学)