2013年7月1日 精密加工と微細構造の形成技術 會田英雄, 武田秀俊, 土肥俊郎 担当区分 共著 担当範囲 GaN単結晶素材の精密加工と加工変質層への評価(pp.164–170) 出版者・発行元 技術情報協会 記述言語 日本語 著書種別 学術書