招待有り 2016年4月 高効率加工を目指す革新的プラズマ融合CMP技術と難加工材料への適用 光技術コンタクト 土肥俊郎, 會田英雄 巻 58 号 - 開始ページ 35 終了ページ 42 記述言語 日本語 掲載種別 記事・総説・解説・論説等（その他） 出版者・発行元 日本オプトメカトロニクス協会 エクスポート BibTeX RIS
