2018年1月23日 難加工単結晶材料の超精密加工~ファインバブル水を用いた研磨加工事例~ ファインバブル技術講習会 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(招待・特別) 主催者 新潟県工業技術総合研究所 開催地 日本