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2008年11月11日

高ドーズ鉄イオン注入シリコンの再結晶化過程

まてりあ 47 (2008) 640
  • 内藤宗幸
  • ,
  • 石丸学

記述言語
日本語
掲載種別
記事・総説・解説・論説等(大学・研究所紀要)

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