論文

査読有り
2021年9月20日

Elimination of Oxygen Defects in In-Si-O Film and Thin Film Transistor Performance

Solid State Phenomena
  • E. K. Palupi
  • ,
  • A. Fujiwara

324
開始ページ
81
終了ページ
86
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.4028/www.scientific.net/SSP.324.81
出版者・発行元
Trans Tech Publications Ltd

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.324.81
ID情報
  • DOI : 10.4028/www.scientific.net/SSP.324.81
  • ISSN : 1662-9779

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